[实用新型]一种晶体生长炉测温总成

权利要求书

1.一种晶体生长炉测温总成，包括晶体生长炉本体和红外测温仪（11），所述晶体生长炉本体包括水冷腔体（2）、设置于所述水冷腔体（2）底部用于支撑坩埚（4）的坩埚轴（13）、设置于所述水冷腔体（2）内部的加热器（3）、侧面保温屏（1）、底部保温屏（5）和顶部保温屏（12），其特征在于，所述坩埚轴（13）为空心轴，所述水冷腔体（2）底部与所述坩埚轴（13）的空心处对应位置设置有第一测温视窗，所述水冷腔体（2）的侧面还设置有多个位于不同高度且可与坩埚（4）侧面相对的第二测温视窗，且所述侧面保温屏（1）和所述加热器（3）上与所述第二测温视窗相同高度处均设置有透光孔；

所述红外测温仪（11）通过调整支架设置于所述第一测温视窗和所述第二测温视窗处。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述第一测温视窗和所述第二测温视窗的具体结构包括：

开设于所述水冷腔体壁上的通孔，所述通孔的边缘设置有向所述水冷腔体（2）外侧凸起的玻璃安装座（6）；

设置于所述水冷腔体（2）外侧，且覆盖在所述玻璃安装座（6）上的透明玻璃（10），所述透明玻璃（10）与所述玻璃安装座（6）之间设置有密封件（7）；

与所述玻璃安装座（6）可拆装连接且用于将所述透明玻璃（10）压紧于所述玻璃安装座（6）上的固定法兰（8），所述固定法兰（8）与所述透明玻璃（10）之间设置有垫片（9）。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述透明玻璃（10）为石英玻璃。

4.根据权利要求2所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述密封件（7）为O型密封圈，所述垫片（9）为特氟龙垫片。

5.根据权利要求1所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述第一测温视窗和所述第二测温视窗均为圆形测温视窗。

6.根据权利要求1所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述第二测温视窗包括两个，且两个所述测温视窗分别设置于靠近坩埚（4）内液体的液面位置处和靠近于坩埚（4）的底部位置处。

7.根据权利要求6所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，两个所述第二测温视窗在竖直方向上相互错开。

8.根据权利要求1所述的晶体生长炉测温总成，其特征在于，还包括设置于所述水冷腔体顶部的第三测温视窗，且所述顶部保温屏（12）与所述第三测温视窗对应的位置设置有透光孔，所述水冷腔体（2）的外部与所述第三测温视窗对应位置设置有红外测温仪（11）。