[实用新型]一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池生产设备，尤其涉及一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置。

背景技术

广泛应用于半导体的离子注入技术，现已在太阳能电池的制作上也得到了很好的应用，作为掺杂设备，尤为在高效太阳能电池的制作上，是重要的环节。虽然该机器很复杂，但作为生产型的设备，减少停机时间，多些产出，就显得尤为重要。

本设备是基于美商应用材料公司varian solion机台，包括了自动传送装置和真空部分，真空部分由高真空区和缓冲区构成，工艺反应腔室包括在高真空区内，如果高真空区的真空度有异常，整个机器就将处于故障状态，查找问题点将破坏影响真空的地方找出来处理好，机器才可能继续生产运行。在日常生产中，半成品的太阳能电池由于前道工序或其他原因，会造成残缺、破损、两片粘连等等生产过程中的异常太阳能电池片，由于是高真空系统，破碎的电池片在传送过程中会落到高真空区与大气的隔离阀上。当高真空区与大气的隔离阀关不严实，造成漏真空，机台无法生产运行，相关技术人员必须打开工艺反应腔室进行拆卸清理，将耗费大量生产时间，降低生产效益，详述如下：

图1为现有的离子注入机的原理简图，太阳能电池在外界环境大气中，此时第一和第二真空隔离阀1、2都处于关闭状态，高真空区和缓冲区都处于真空状态，当太阳能电池要通过缓冲区，首先缓冲区充入气体由真空变到大气后，第一真空隔离阀1打开，太阳能电池放入缓冲区，第一真空隔离阀1关闭，缓冲区进行抽真空至高真空后，第二真空隔离阀2打开，太阳能电池传入高真空区进行工艺反应完成后，第二真空隔离阀2打开，太阳能电池传入缓冲区后，第二真空隔离阀2关闭，缓冲区充入气体到大气后接着第一真空隔离阀1打开，太阳能电池片传出来，传到第一真空隔离阀1外面大气环境中。当有破碎的太阳能电池片硅渣7落在第二真空隔离阀2处，如图2所示，由于第二真空隔离阀2有异物无法紧密闭合，当缓冲区由真空充气到大气时，气体会通过第二真空隔离阀2进入高真空区，高真空区无法达到高真空，机器无法进行工艺反应。以往处理此问题，只有将整个高真空区、缓冲区全部进行充气到大气状态，再进行拆卸清理第二真空隔离阀2，清理好异常后，再对机器高真空区和缓冲区抽真空，调试好机器后方可再生产，费时费力。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置，防止太阳能电池制作过程中有破损、两片电池片粘连在一起的半成品电池片进入离子注入机工序时给机器造成故障。

技术方案：本实用新型所述的一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置，包括传输带和其驱动装置，还包括光电传感器、称重装置、升降系统、报警装置和控制装置，所述称重装置设置在升降系统上，所述称重装置位于传输带的下方，所述称重装置、升降系统、光电传感器及报警装置均与控制装置连接。

进一步完善上述技术方案，所述称重装置为电子秤，所述电子秤上设置有顶起传输带上的太阳能电池片的支架。

进一步地，所述升降系统为气缸，其通过电磁阀与控制装置连接。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：（1）生产过程中，直接实现机器自动识别并提示上料的半成品电池片的状况，摆脱靠操作员对来料的目测检查；（2）由于工艺反应需要过程，传送就存在等待时间，增加称重检测装置不影响机器原来的产能；（3）本装置点接触电池片的背面，不会对电池片造成污染和伤害；（4）减少因为上料时的异常片而引起机器故障维护维修时间。

附图说明

图1为现有的真空部分原理简图。

图2为现有的真空部分有破碎的太阳能电池片硅渣落在第二真空隔离阀处的示意图。

图3为现有的传送装置的示意图。

图4为本实用新型所述的电子秤示意图。

图5为本实用新型所述的电子秤的工作示意图。

图6为本实用新型的结构示意图。

图中：1、第一真空隔离阀；2、第二真空隔离阀；3、缓冲区；4、高真空区；5、半成品太阳能电池片；6、传输皮带；7、破碎的太阳能电池片硅渣；8、电子秤；9、支架。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。