[实用新型]一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置有效
| 申请号： | 201320149376.X | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN203250727U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 吕俊;许松源;孙伦郑;张虎;王艾华;赵建华 | 申请（专利权）人： | 中电电气（南京）光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人： | 陈扬 |
| 地址： | 211100 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 离子 注入 反应 引起 故障 传输 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置，包括传输带和其驱动装置，其特征在于，还包括光电传感器、称重装置、升降系统、报警装置和控制装置，所述称重装置设置在升降系统上，所述称重装置位于传输带的下方，所述称重装置、升降系统、光电传感器及报警装置均与控制装置连接。
2.根据权利要求1所述的防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置，其特征在于，所述称重装置为电子秤，所述电子秤上设置有顶起传输带上的太阳能电池片的支架。
3.根据权利要求1所述的防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置，其特征在于，所述升降系统为气缸，其通过电磁阀与控制装置连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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