[实用新型]一种设有吸振装置的微动模块有效
| 申请号： | 201320146246.0 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203259773U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王保亮;杨辅强;朱岳彬;陈文枢;黄静莉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/00;F16F15/04;F16F15/08;F16F15/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设有 装置 微动 模块 | ||
1.一种设有吸振装置的微动模块，其包括微动板、设置在所述微动板下部的隔振装置和设置在所述微动板上部的承载装置，其特征在于，还包括设置在所述微动板上的吸振装置。
2.根据权利要求1所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述吸振装置包括传递支架、配重块、弹性件及连接所述传递支架和配重块的连接件，所述弹性件设置在所述传递支架和配重块之间；所述吸振装置通过所述传递支架与所述微动板连接。
3.根据权利要求2所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述弹性件的材料为丁腈橡胶、氯丁橡胶或天然橡胶，所述配重块的材料为金属材料。
4.根据权利要求3所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述传递支架包括与所述微动板平行的传递板。
5.根据权利要求4所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述配重块包括设置在所述传递板上侧的上配重块和设置在所述传递板下侧的下配重块，所述弹性件包括连接传递板和上配重块的第一橡胶块及连接传递板和下配重块的第二橡胶块。
6.根据权利要求5所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述连接件包括连接所述上配重块和下配重块的紧定螺钉和套在所述紧定螺钉外的套筒；所述套筒穿设在所述传递板的套筒孔上，上紧所述紧定螺钉，所述上配重块和下配重块压紧所述弹性件。
7.根据权利要求6所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述套筒的外直径小于所述套筒孔直径。
8.根据权利要求1所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述 吸振装置设置在所述微动板模态振型位移最大的地方。
9.根据权利要求1所述一种设有吸振装置的微动模块，其特征在于，所述吸振装置的设置方式为悬于微动板下方、挂于微动板一侧或嵌入微动板内部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320146246.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
