[实用新型]热丝化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种热丝化学气相沉积装置，包括电控柜，其特征在于：所述电控柜通过控制线分别连接有CVD镀膜室、冷水机和气源，所述CVD镀膜室分别与冷水机、气源相连接，所述CVD镀膜室上还连接有真空获得系统。

2.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于：所述CVD镀膜室由真空室、基片台和热丝加热系统组成，所述电控柜与热丝加热系统相连接。

3.根据权利要求2所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于：所述热丝加热系统包括进气极板和热丝栅组成，所述热丝栅安装在所述进气极板与基片台之间。

4.根据权利要求3所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于：所述热丝栅包括框架，所述框架的两端安装有带张力电极条，所述带张力电极条之间设置有若干根热丝。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于：所述CVD镀膜室通过硬聚氯乙烯管与所述水冷机相连接。

6.根据权利要求5所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于：所述CVD镀膜室通过抛光不锈钢管与所述气源相连接。

7.根据权利要求6所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于：所述CVD镀膜室通过波纹管与所述真空获得系统相连接。