[实用新型]一种具有辅助开口的掩模板有效
| 申请号： | 201320094230.X | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN203159696U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世珎;刘学明 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
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| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 辅助 开口 模板 | ||
1.一种具有辅助开口的掩模板，其特征在于,包括：
掩模板主体，所述掩模板主体上有掩模图案，所述掩模图案由掩模开口组成；
辅助开口图案，所述辅助开口图案由辅助开口构成，所述辅助开口位于所述掩模板主体上，并分布在所述掩模图案两侧，所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。
2.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述掩模图案的数量大于等于1，所述辅助开口图案与所述掩模图案数量比为2：1。
3.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，当两个所述掩模图案排成一列时，在所述掩模图案之间有一组掩模开口。
4.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述辅助开口和所述掩模开口的开口结构相同且为通孔。
5.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述辅助开口和所述掩模开口的开口形状相同但为封闭孔。
6.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述辅助开口图案与所述掩模图案临近的一侧与所述掩模图案的距离是所述掩模开口之间距离的1倍以上（包含1倍），作为优选为3倍。
7.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述辅助开口间距和所述掩模开口间距相同。
8.根据权利要求1所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述辅助开口数量是1-5。
9.根据权利要求8所述的具有辅助开口的掩模板，其特征在于，所述辅助开口数量是2-4。
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