[实用新型]用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置

说明书

本实用新型涉及仪器仪表（分析仪器）技术领域，具体地说是一种用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置。

电子显微镜成像需要在高真空环境下进行，以保证电子束在其路径上不会被吸走或者产生偏向，而电子显微镜的高真空环境是依靠真空泵获得的。分子泵作为应用于电子显微镜领域常用的一种真空泵，其通过利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为设置在其前级的前级泵抽走。高速旋转的转子在工作时会产的振动，该振动对于要求精度很高的电子显微镜来说会产生很大的影响，主要体现在影响电子显微镜的成像，导致电子显微镜的分辨率降低。

目前，随着分子泵技术快速发展，分子泵在工作过程中产生的振动越来越小，在用于电子显微镜抽真空的过程中分子泵对电子显微镜成像的影响也越来越小。然而随着社会的发展，对于电子显微镜成像分辨率又提出了更高的要求，而通过提高分子泵技术来减小分子泵振动对电子显微镜成像的方式变得愈加困难，而且对于分子泵技术的研发周期长，经费高，所以单凭依靠提高分子泵技术来减小分子泵振动对电子显微镜成像影响的方式已经变得不再可取。

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中电子显微镜成像受到真空泵振动的影响而导致的分辨率低的问题，提供一种用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，该隔振装置可以有效降低真空泵振动对电子显微镜成像分辨率的影响。

为解决上述技术问题，本实用新型是一种用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，包括第一连接座，与电子显微镜的待抽真空口固定连接；第二连接座，与所述第一连接座相对设置，且与真空泵的抽气口连接；弹性隔离管，安装于所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述待抽真空口和所述抽气口连通；支撑隔振柱，用于承重和吸振，设置在所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述第一连接座和所述第二连接座的端面固定连接。

所述支撑隔振柱包括用于支撑电子显微镜的支撑部分和用于吸收真空泵振动的隔振部分。

所述支撑部分靠近所述第一连接座设置，且其端部与所述第一连接座端面固定连接；所述隔振部分靠近所述第二连接座设置，且其端部与所述第二连接座端面固定连接。

所述隔振部分采用橡胶材料。

所述弹性隔离管为金属波纹管。

所述弹性隔离管为金属波纹管。

所述支撑部分与所述隔振部分呈圆柱形且直径相等。

所述金属波纹管的两端采用焊接方式分别与所述第一连接座和所述第二连接座固定连接。

所述隔振部分与所述第一连接座或者第二连接座螺钉连接。

所述支撑隔振柱设有多个，分别沿所述弹性隔离管周向均匀设置。

所述支撑隔振柱为4个。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1、在本实用新型中，支撑隔振柱既有承重作用又有吸振作用，设置于设置在所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述第一连接座和所述第二连接座的端面固定连接，支撑隔振柱既可以用于支撑所述电子显微镜的重量，又可以隔离分子泵振动对电子显微镜产生的影响，提高了电子显微镜成像的分辨率。弹性隔离管，安装于所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述待抽真空口和所述抽气口连通，所述弹性隔离管的设置保证了分子泵能顺利地抽出电子显微镜中的空气，而且弹性隔离管具有弹性，可以随着所述支撑隔振柱在电子显微镜重力作用下向下方有一定的压缩量。

2、在本实用新型中，所述支撑隔振柱包括用于支撑电子显微镜重量的支撑部分和用于吸收真空泵振动的隔振部分，所述支撑部分由合金钢制成，价格较便宜，所述隔振部分采用既能吸收振动又能承重的橡胶材料，该种特殊的橡胶材料价格较贵，因此该种将所述支撑隔振柱做成两部分的方式使得所述支撑隔振柱既能满足本实用新型对其的要求，又采用分体的方式使价格较便宜的合金钢代替部分价格较贵的橡胶作为支撑部分，减少了成本，并且生产工艺简单，制作容易。

3、在本实用新型中，所述支撑部分靠近所述第一连接座设置，且其端部与所述第一连接座端面固定连接；所述隔振部分靠近所述第二连接座设置，且其端部与所述第二连接座端面固定连接,该种设置方式使得隔振部分靠近产生振动的分子泵，从而使隔振部分快速吸收振动，且吸振能力强，有效降低分子泵振动对电子显微镜成像产生的影响。