[实用新型]用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置有效
| 申请号： | 201320093101.9 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN203103260U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 张军安;耿俊清 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 真空泵 电子显微镜 装置 | ||
用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于:包括
第一连接座，与电子显微镜的待抽真空口固定连接；
第二连接座，与所述第一连接座相对设置，且与真空泵的抽气口连接；
弹性隔离管，安装于所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述待抽真空口和所述抽气口连通；
支撑隔振柱（4），用于承重和吸振，设置在所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述第一连接座和所述第二连接座的端面固定连接。
根据权利要求1所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述支撑隔振柱（4）包括用于支撑电子显微镜重量的支撑部分（4a）和用于吸收真空泵振动的隔振部分（4b）。
根据权利要求2所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述支撑部分（4a）靠近所述第一连接座设置，且其一端与所述第一连接座端面固定连接；所述隔振部分（4b）靠近所述第二连接座设置，且其一端与所述第二连接座端面固定连接。
根据权利要求2或3所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述隔振部分（4b）采用橡胶材料。
根据权利要求4所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述弹性隔离管为金属波纹管（3）。
根据权利要求5所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述支撑部分（4a）与所述隔振部分（4b）呈圆柱形且直径相等。
根据权利要求5或6所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述金属波纹管（3）的两端采用焊接方式分别与所述第一连接座和所述第二连接座固定连接。
根据权利要求7所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述隔振部分（4b）与所述第一连接座或者第二连接座螺钉连接。
根据权利要求1‑3中任一项所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述支撑隔振柱（4）设有多个，分别沿所述弹性隔离管周向均匀设置。
根据权利要求9所述的用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于：所述支撑隔振柱（4）为4个。
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