[实用新型]一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及显示面板有效
申请号: | 201320091300.6 | 申请日: | 2013-02-28 |
公开(公告)号: | CN203218263U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 孙双 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化物 薄膜晶体管 阵列 显示 面板 | ||
1.一种氧化物薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括:
基板;
在所述基板上设置有由栅金属层薄膜形成的包括栅线和栅极的图形;
在设置有所述栅线和栅极的基板上,设置有由栅绝缘层薄膜、氧化物有源层薄膜和刻蚀阻挡层薄膜依次形成的包括栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的图形;
在设置有所述栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的基板上,还设置有包括数据线、源极、漏极和像素电极的图形,所述源极与所述数据线连接,所述漏极与所述像素电极相连。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,在所述基板上,还设置有由栅金属层薄膜形成的包括与栅线交叉设置且在与栅线交叉重叠处断开的数据线初始图形;
在设置有所述栅线、栅极的基板上,在每段断开的所述数据线初始图形的上方还设置有至少一个数据线连接过孔图形;
在设置有所述栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层图形的基板上,还设置有连接电极图形;在与所述栅线交叉的方向上,每个连接电极通过两两相邻的数据线连接过孔,将两两相邻的断开的数据线初始图形相连接,形成数据线图形。
3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,在设置有所述栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层图形的基板上,还设置有连接电极图形,具体为:
所述源极、漏极、像素电极和连接电极由透明导电薄膜形成。
4.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1-3任一项所述的氧化物薄膜晶体管阵列基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的