[实用新型]多晶硅铸锭炉热场结构

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设于所述炉体内的热场箱、设于所述热场箱内的坩埚、设于所述热场箱内壁与所述坩埚外壁之间的加热器和设于所述坩埚底部的热交换平台，其特征在于：所述热场箱包括隔热笼和保温壳，所述保温壳包括环绕贴合于所述隔热笼内侧壁上的保温侧板、盖合密封所述保温侧板顶端开口的保温顶板和活动设于所述保温侧板底端开口处的保温底板，所述炉体底部还设有用于带动所述保温底板升降以使所述保温底板贴合密封或者脱离所述保温侧板底端开口的升降杆。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述炉体底部开设有与所述升降杆相配合的通孔，所述升降杆的底端从所述通孔内穿出所述炉体外并与外部驱动机构连接，所述升降杆的顶端固定连接所述保温底板。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述保温底板向上设有凸台，所述保温侧板底端开口处对应设有与所述凸台相配合以供所述凸台卡插定位的卡槽。

4.如权利要求1至3任一项所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：还包括第一电极、提升杆和支撑柱，所述加热器通过所述第一电极悬挂固定于所述炉体上，所述隔热笼通过所述提升杆悬挂固定于所述炉体上，所述保温侧板固定于所述隔热笼的内壁上，所述支撑柱的底端固定连接所述炉体的底部，顶端固定连接所述热交换平台。

5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述加热器包括设于所述坩埚上方的顶部加热组件、设于所述坩埚侧部并与所述顶部加热组件并联连接的侧部加热组件和分设于所述顶部加热组件与所述侧部加热组件上方的多个第二电极，所述顶部加热组件和所述侧部加热组件分别通过所述第二电极连接所述第一电极。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述顶部加热组件包括两个弯曲形的顶部加热件和用于连接两所述顶部加热件的顶部连接块，所述顶部加热件上设有所述第二电极。

7.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述侧部加热组件包括弯曲形的侧部加热件，所述侧部加热件向上设有电极连接块，所述电极连接块顶端设有所述第二电极。

8.如权利要求1至3任一项所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述隔热笼呈方形，其侧部由杆件或板件或管件通过焊接或紧固件连接而成。

9.如权利要求1至3任一项所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述坩埚呈方形，其长度为1000-1050mm，宽度为1000-1050mm，高度为440-940mm。