[实用新型]一种真空泵入口端管道及真空泵组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空系统技术领域，尤其涉及一种真空泵入口端管道及真空泵组件。

背景技术

真空反应腔在高科技工业生产中普遍存在，通常使用干泵、分子泵作为抽真空设备，而且目前抽真空设备系统的管道走向设计基本上采用竖直走向。而发明人发现有些真空系统反应腔会产生大量副产物如液晶行业干法刻蚀工序，其所产生的副产物会附着在入口端管道内壁上并且通常呈块状或淤泥状，同时这些副产物会伴随抽真空过程进入真空泵，这样会造成干泵经常性维修而且会使干泵使用寿命缩短。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种真空泵入口端管道及真空泵组件，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供一种真空泵入口端管道，包括：一非水平设置的进气管、一非水平设置的出气管和至少一非水平设置的中间管；

所述进气管的下端与所述中间管的下端通过底管连通，所述中间管的上端与所述出气管的上端通过顶管连通；

所述进气管的上端与外接腔体连接；

所述出气管的下端与真空泵连接。

可选的，所述真空泵入口端管道具有至少两个所述中间管；

所述中间管与中间管之间通过至少一个所述底管或至少一个所述顶管连通。

可选的，至少一个所述底管为沉积管。

可选的，所述与沉积管腔体中轴线垂直的截面的截面积大于与所述进气管腔体中轴线垂直的截面的面积。

可选的，所述沉积管底部设置开口，所述开口处设置有可以开启的密封盖。

可选的，所述沉积管底部下端开口与干燥装置连通，所述干燥装置内部设有干燥剂，所述干燥装置底部设置有可以开启的密封盖。

可选的，所述干燥装置与所述沉积管底部连通处设置有带孔隔离单元。

可选的，所述带孔隔离单元为金属网。

可选的，所述进气管与所述外接腔体用法兰连接；

所述出气管与所述真空泵用法兰连接。

可选的，所述出气管的长度大于所述中间管的长度，且所述中间管的长度大于所述进气管的长度。

第二方面，提供一种真空泵组件，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中：

所述真空泵入口端管道为第一方面中任一项所述的真空泵入口端管道。

本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道及真空泵组件，通过将真空泵的入口端管道采用弯管式走向设计，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例提供的一种真空泵入口端管道的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例提供的另一种真空泵入口端管道的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例提供的一种真空泵入口端走向的结构示意图；

图4为本实用新型的实施例提供的又一种真空泵入口端管道的结构示意图。

附图标记：1-进气管；2-出气管；3-中间管；4-顶管；5-底管；6-沉积管；7-真空泵；8-外接腔体；9-带孔隔离单元；10-密封盖；11-大肚式结构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的实施例提供一种真空泵入口端管道，参照图1和图3所示，包括：一非水平设置的进气管1、一非水平设置的出气管2和至少一非水平设置的中间管3；

进气管1的下端与中间管3的下端通过底管5连通，中间管3的上端与出气管2的上端通过顶管4连通。

进气管1的上端与外接腔体8连接。

出气管2的下端与真空泵7连接。

本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道，通过将真空泵的入口端管道采用弯管式走向设计，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。

进一步，参照图2所示，本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道，还包括：

真空泵入口端管道具有至少两个中间管3；