[实用新型]一种真空泵入口端管道及真空泵组件有效
| 申请号： | 201320078971.9 | 申请日： | 2013-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN203082378U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 蒋晓纬;吴平;关跃征;肖红玺;任志强 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F16L9/00 | 分类号： | F16L9/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 入口 管道 组件 | ||
1.一种真空泵入口端管道，其特征在于，包括：一非水平设置的进气管、一非水平设置的出气管和至少一非水平设置的中间管；
所述进气管的下端与所述中间管的下端通过底管连通，所述中间管的上端与所述出气管的上端通过顶管连通；
所述进气管的上端与外接腔体连接；
所述出气管的下端与真空泵连接。
2.根据权利要求1所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述真空泵入口端管道具有至少两个所述中间管；
所述中间管与中间管之间通过至少一个所述底管或至少一个所述顶管连通。
3.根据权利要求1或2所述的真空泵入口端管道，其特征在于，
至少一个所述底管为沉积管。
4.根据权利要求3所述的真空泵入口端管道，其特征在于，
所述与沉积管腔体中轴线垂直的截面的截面积大于与所述进气管腔体中轴线垂直的截面的面积。
5.根据权利要求3所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述沉积管底部设置开口，所述开口处设置有可以开启的密封盖。
6.根据权利要求5所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述沉积管底部下端开口与干燥装置连通，所述干燥装置内部设有干燥剂，所述干燥装置底部设置有可以开启的密封盖。
7.根据权利要求6所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述干燥装置与所述沉积管底部连通处设置有带孔隔离单元。
8.根据权利要求7所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述带孔隔离单元为金属网。
9.根据权利要求1所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述进气管与所述外接腔体用法兰连接；
所述出气管与所述真空泵用法兰连接。
10.根据权利要求1/ 2 / 4～9任一项所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述出气管的长度大于所述中间管的长度，且所述中间管的长度大于所述进气管的长度。
11.一种真空泵组件，其特征在于，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中：
所述真空泵入口端管道为权利要求1～10中任一项所述的真空泵入 口端管道。
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