[实用新型]一种新型石英器件清洗结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别涉及一种新型石英器件清洗结构。

背景技术

硼扩散工序是太阳能电池制造过程中的重要一环。扩散尾气排出装置的工作原理如图1所示，扩散工艺产生的尾气经尾气管01和S弯头03进入废液罐04，再经和废液罐04相连的排风管路排出去。废液罐04的上端有一路氮气补偿，这路补偿氮气起的作用就是平衡炉管内气压，保证炉管内的压力为电脑监控的设定值；尾气和补偿氮气是在细长的管路05内汇合的，然后经过排风管路抽走。尾气的排出是一个持续的过程，补偿氮气的通入也是一个持续的过程。

在太阳能电池领域的硼扩散工序中，由于硼扩散工艺的特殊性，工艺过程中会产生氧化硼粉末。在扩散尾气排出的过程中，氧化硼粉末会被尾气带出一部分，并会遇冷附着在尾气管末端内壁02以及S弯头03的内壁上，造成尾气排不出去，从而造成管路堵塞，如果长时间不清理的话，就会对工艺造成影响。

目前，只是对补偿氮气的通气口进行清洗，不对S弯头03和尾气管02末端部分进行清洗。如果清洗S弯头03和尾气管02末端的话，由于两者均为石英材质，一般清理氧化硼粉末的方法为采用冷的纯水进行冲洗，但是由于冷热温差大，骤冷会造成石英器件的断裂，造成成本浪费；并且由于长时间的积累，S弯头03和尾气管02末端的氧化硼粉末清理难度比较大。

因此，针对上述情况，如何改进扩散尾气排出装置的结构，在保证不损伤石英器件的前提下，对其尾气管和S弯头部位进行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，从而保证扩散工艺的正常运行，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种新型石英器件清洗结构，在保证不损伤石英器件的前提下，对尾气管和S弯头部位进行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，从而保证扩散工艺的正常运行。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型石英器件清洗结构，应用于太阳能电池硼扩散工序后的扩散尾气排出装置，包括依次连通的尾气管末段、S弯头和废液罐，所述尾气管末段的输入端还连通有氮气补偿管路。

优选的，所述氮气补偿管路内的补偿氮气经过加热器加热。

优选的，所述加热器具体为设置在所述氮气补偿管路内的水浴加热器。

优选的，所述废液罐上端的氮气补偿管路设计为密封。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的新型石英器件清洗结构，通过在尾气管通入补偿氮气，利用气流的冲刷带走更多杂质，对尾气管和S弯头部位进行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，从而保证扩散工艺的正常运行。与现有技术中采用冷的纯水进行冲洗，引起骤冷造成石英器件断裂相比，不会损伤尾气管和S弯头，避免了生产成本的浪费。本实用新型提供的新型石英器件清洗结构，保证了硼扩散工艺的稳定性；同时，在设备运行的过程中就可以实现清洗，减少了维护次数，降低了成本，提高了N型电池的成本竞争优势。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的扩散尾气排出装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的新型石英器件清洗结构的结构示意图。

其中，01尾气管，02为尾气管末端内壁，03为S弯头，04为废液罐，05为细长的管路；

11为尾气管末段，12为尾气管末段内壁，13为S弯头，14为S弯头和废液罐的衔接部分，15为气体在废液罐内的流动方向，16为废液罐，17为水浴加热器，18为原氮气补偿管路。

具体实施方式

本实用新型公开了一种新型石英器件清洗结构，在保证不损伤石英器件的前提下，对尾气管和S弯头部位进行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，从而保证扩散工艺的正常运行。

为了便于理解，现将本实用新型中出现的技术名词解释如下：

尾气管：太阳能电池领域扩散工序中用于抽取反应产生的尾气的石英管。

S弯头：太阳能电池领域扩散工序中和尾气管相连的石英器件，呈S型。

氧化硼粉末：扩散工艺中的附加产物，为一种白色粉末。

废液罐：扩散工艺中储存少量反应产物（硼扩散为氧化硼粉末）的石英器件。