[实用新型]一种新型石英器件清洗结构有效
| 申请号： | 201320074481.1 | 申请日： | 2013-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN203076288U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 戎帅 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B15/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 石英 器件 清洗 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型石英器件清洗结构，应用于太阳能电池硼扩散工序后的扩散尾气排出装置，包括依次连通的尾气管末段（11）、S弯头（13）和废液罐（16），其特征在于，所述尾气管末段（11）的输入端还连通有氮气补偿管路。
2.根据权利要求1所述的新型石英器件清洗结构，其特征在于，所述氮气补偿管路内的补偿氮气经过加热器加热。
3.根据权利要求2所述的新型石英器件清洗结构，其特征在于，所述加热器具体为设置在所述氮气补偿管路内的水浴加热器（17）。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的新型石英器件清洗结构，其特征在于，所述废液罐（16）上端的原氮气补偿管路（18）封闭。
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