[实用新型]毛刷清洗装置及基板清洗装置

权利要求书

1.一种毛刷清洗装置，其特征在于，包括设置在毛刷外部的清洗导杆，所述清洗导杆上安装有毛刷清洗用清洗头，由所述清洗头对毛刷进行清洗。

2.如权利要求1所述的毛刷清洗装置，其特征在于，所述清洗导杆可带动所述清洗头靠近或远离所述毛刷，或者沿着毛刷长度方向移动。

3.如权利要求2所述的毛刷清洗装置，其特征在于，所述毛刷清洗装置还包括驱动单元，所述驱动单元控制所述清洗导杆的移动。

4.如权利要求1所述的毛刷清洗装置，其特征在于，所述清洗导杆平行于所述毛刷的中心轴线设置，所述清洗头的横截面为环形。

5.如权利要求1所述的毛刷清洗装置，其特征在于，所述清洗头上设置有高压水喷头和高压干燥气体喷头。

6.如权利要求5所述的毛刷清洗装置，其特征在于，还包括控制单元，分别连接所述高压水喷头和高压干燥气体喷头的控制开关，由控制单元控制高压水喷头和高压干燥气体喷头的开、关及喷射速度。

7.如权利要求6所述的毛刷清洗装置，其特征在于，所述驱动单元包括滚珠丝杠结构，所述滚珠丝杠结构的螺杆与所述清洗导杆连接，所述驱动单元连接控制单元，由所述控制单元控制驱动单元的运动。

8.如权利要求6所述的毛刷清洗装置，其特征在于，所述驱动单元包括气缸，所述气缸的活塞与所述清洗导杆连接，所述驱动单元连接控制单元，由所述控制单元控制驱动单元的运动。

9.一种基板清洗装置，其特征在于，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有用于清洗基板的毛刷，所述清洗箱内还设置有如权利要求1～8中任一项所述的毛刷清洗装置。