[实用新型]晶体生长装置及其晶体生长初期籽晶长度的测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生长系统技术领域，特别涉及一种晶体生长初期籽晶长度的测量装置。本实用新型还涉及一种包括上述晶体生长初期籽晶长度的测量装置的晶体生长装置。

背景技术

晶体作为LED灯和太阳能行业必不可少的材料，在晶体的生长过程中，往往需要用籽晶来促进晶体的生长。晶体在长晶过程中放置在坩埚底部，籽晶一部分融化来促进长晶。在长晶的过程中，主要通过测量籽晶融化的长度来判断晶体的生长状态。经过上述过程长出的晶体才能够有效地避免出现应力过于集中或裂开的现象，同时有效地避免了晶体在生长过程中出现晶向紊乱而降低晶体在后续加工中的利用率的现象。由于晶体放置在坩埚底部，而整个坩埚则是放置在热场中，整个热场放置于一个有保护气氛的炉腔中，炉腔又处于一个完全密封的低真空状态，这时需要测量籽晶融化后的长度较为困难。

传统的测量籽晶融化长度的方法是钨棒测量法，主要是将一根钨棒从炉盖顶部的中间位置直接插入炉腔内，钨棒的一端与籽晶的上端面接触，在籽晶融化的过程中，钨棒在自身重力的作用下向下运动，钨棒下降的长度就是籽晶融化的长度。然而使用这种方法需要考虑到长晶装置整体环境的密封性，保护好原有的气氛不被破坏，必须使用密封圈对钨棒与炉盖的顶部接触的位置进行密封，要获得较好的密封性，密封件与钨棒之间必须有一定的压力，然而压力越大则密封件与钨棒之间的摩擦力也就越大，当钨棒自身的重力大于密封件与钨棒之间的摩擦力时，钨棒才可以自由测量籽晶融化的长度，当钨棒自身的重力小于密封件与钨棒之间的摩擦力时，钨棒可能停止在一个固定位置，而难以随着籽晶的融化而产生相应位移，难以达到测量籽晶融化长度的目的，若为了保证钨棒能够顺利地下降而减小密封件与钨棒之间的压力，削弱了钨棒与密封件之间的密封效果，炉腔内长晶的保护气氛有可能被打破，一旦长晶的保护气氛被打破则预示着长晶完全失败。

因此，如何在保证长晶的保护气氛的同时，有效地测量出籽晶融化的长度，已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶体生长初期籽晶长度的测量装置，能够在保证长晶的保护气氛的同时，有效地测量出籽晶融化的长度。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述晶体生长初期籽晶长度的测量装置的晶体生长装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种晶体生长初期籽晶长度的测量装置，包括固定件、安装管、主动块、测量杆及套设在所述安装管外侧的从动块，所述固定件上开设有测量杆口，所述安装管的两端分别为封闭端和开口端且所述开口端与所述固定件密封安装，固定有所述测量杆的所述主动块放置在所述安装管内，所述主动块与所述从动块通过磁场相互作用以实现两者联动。

优选地，还包括安装在所述固定件上且罩设在所述从动块外侧的防护罩。

优选地，还包括安装在所述防护罩上的标尺及安装在所述从动块上且指向所述标尺的指针，所述防护罩上开设有供所述指针上下移动的滑槽。

优选地，所述指针的针尖位于所述标尺的背面和所述防护罩之间。

优选地，所述防护罩上设有用于挂接所述指针的卡勾。

优选地，所述主动块沿其运动方向在所述测量杆口所在面的投影面包括位于测量杆口轮廓内的第一投影面和位于所述测量杆口轮廓外的第二投影面。

优选地，还包括设置在所述固定件上的冷却结构。

优选地，所述固定件与所述安装管之间设有密封圈。

一种晶体生长装置，包括炉腔盖及固定在所述炉腔盖上的晶体生长初期籽晶融化长度的测量装置，所述测量装置为上述任一项所述的测量装置。

在上述技术方案中，本实用新型提供的晶体生长初期籽晶长度的测量装置，包括固定件、安装管、主动块、从动块和测量杆，其中安装管的一端为封闭端，另一端为开口端，同时开口端密封安装在固定件上，固定件上开设有测量杆口，主动块放置在安装管内，从动块套设在安装管外侧，测量杆固定在主动块上，主动块与从动块通过磁场相互作用实现联动。在使用该测量装置时，测量杆的一端接触籽晶，这时记录从动块所在的位置，随着籽晶的融化，测量杆向下移，由于测量杆固定在主动块上，所以测量杆下移的同时，主动块也等量下移，又由于从动块与主动块联动，所以从动块也等量下移，再次记录从动块的位置，两次从动块的位置之间的距离即为籽晶融化的长度。

通过上述描述可知，相对于上述背景技术，在本实用新型提供的测量装置中，由于测量杆的开口端与固定件密封安装，整个安装管内部与外界隔离，从动块位于安装管的外侧，保证了长晶的保护气氛，测量杆下移最终带动从动块等量下移，直接测量从动块的下移量便可测出籽晶融化的长度。