[实用新型]晶体生长装置及其晶体生长初期籽晶长度的测量装置有效
| 申请号: | 201320060711.9 | 申请日: | 2013-01-30 |
| 公开(公告)号: | CN203080114U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
| 发明(设计)人: | 徐永亮;姜树炎 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;G01B5/02 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
| 地址: | 321037 浙江省金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 晶体生长 装置 及其 初期 籽晶 长度 测量 | ||
1.一种晶体生长初期籽晶长度的测量装置,其特征在于,包括固定件(1)、安装管(2)、主动块(3)、测量杆(4)及套设在所述安装管(2)外侧的从动块(5),所述固定件(1)上开设有测量杆口,所述安装管(2)的两端分别为封闭端和开口端且所述开口端与所述固定件(1)密封安装,固定有所述测量杆(4)的所述主动块(3)放置在所述安装管(2)内,所述主动块(3)与所述从动块(5)通过磁场相互作用以实现两者联动。
2.根据权利要求1所述测量装置,其特征在于,还包括安装在所述固定件(1)上且罩设在所述从动块(5)外侧的防护罩(7)。
3.根据权利要求2所述的测量装置,其特征在于,还包括安装在所述防护罩(7)上的标尺(8)及安装在所述从动块(5)上且指向所述标尺(8)的指针(9),所述防护罩(7)上开设有供所述指针(9)上下移动的滑槽。
4.根据权利要求3所述的测量装置,其特征在于,所述指针(9)的针尖位于所述标尺(8)的背面和所述防护罩(7)之间。
5.根据权利要求2所述的测量装置,其特征在于,所述防护罩(7)上设有用于挂接所述指针(9)的卡勾。
6.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述主动块(3)沿其运动方向在所述测量杆口所在面的投影面包括位于测量杆口轮廓内的第一投影面和位于所述测量杆口轮廓外的第二投影面。
7.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,还包括设置在所述固定件(1)上的冷却结构。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的测量装置,其特征在于,所述固定件(1)与所述安装管(2)之间设有密封圈(10)。
9.一种晶体生长装置,包括炉腔盖及固定在所述炉腔盖上的晶体生长初期籽晶融化长度的测量装置,其特征在于,所述测量装置为权利要求1-8中任一项所述的测量装置。
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