[实用新型]三自由度操控平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试领域，特别涉及三自由度操控平台。

背景技术

现有技术中三自由度操控平台（Manipulator）主要包括运动底盘、升降机构、翻转机构及测试头的固定机构，如图1所示。测试头通过固定机构固定在翻转机构上，翻转机构固定在升降机构上，升降机构固定在运动底盘上。

翻转机构作为主要部分，负责实现三自由度操控平台（Manipulator）的三自由度翻转。所述机构模组包括多个选件，每个机构负责完成不同的功能，如：水平移动、上下升降、水平翻转、垂直翻转等。

现有技术存在以下问题：

升降机构一般采用丝杆，升降调节速度慢，调节方式不方便，行程短，没有锁定装置；

翻转机构一般只有抱臂式双轴上下翻转，没有水平和垂直翻转，不能实现三自由度任意调节。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三自由度操控平台，使得测试头操作面在上下、左右和前方与机械手或探针台对接的需求，从而有效提高操控效率和速度。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种三自由度操控平台，包含：运动底盘11、升降机构12、翻转机构、测试头固定机构16和测试头17；

所述升降机构12固定在所述运动底盘11上，所述翻转机构固定在所述升降机构12上，测试头固定机构将所述测试头固定在所述翻转机构上；

其中，所述翻转机构模组包含水平转动部件13、垂直转动部件14和抱臂翻转部件15；所述水平转动部件13转动时带动所述垂直转动部件14、所述抱臂翻转部件15和所述测试头17一起做水平转动；所述垂直转动部件14转动时带动所述抱臂翻转部件15及所述测试头17一起做垂直转动；所述测试头在抱臂翻转部件15内翻转。

作为进一步改进，所述水平转动部件为单轴水平180度转动部件；所述垂直转动部件为单轴垂直360度转动部件；所述抱臂翻转部件为抱臂双轴270度上下翻转部件。翻转机构使用了一个单轴水平转动部件，实现水平180度转动，使用了一个单轴垂直转动部件，实现垂直360度转动，并在抱臂翻转部件上增加了翻转锁定及限位装置，翻转的角度最大为270度。

作为进一步改进，所述升降机构12包含承重22、皮带24、固定滑轮25、滑轨23；所述承重的重量与所述翻转机构、所述测试头固定机构16和测试头17的总重量一致；所述皮带24穿过所述固定滑轮25，一端连接所述承重22，另一端连接所述翻转机构；所述翻转机构在所述滑轨23上升降。升降方式采用了定滑轮与皮带带动配比承重与翻转机构做反向运动的模式。

作为进一步改进，所述翻转机构在所述滑轨23上升降的行程在700毫米至1300毫米高度范围内。翻转机构整体固定在升降机构的滑轨内，按一定的行程上下运动。

作为进一步改进，所述升降机构还包含：锁定装置26；所述锁定装置26在所述翻转机构升降或转动到所述测试头欲停留的预定位置时，锁紧所述翻转机构在所述升降机构上。升降方式增加了与测试系统机械紧固的装置，实现一体化运动。

作为进一步改进，所述翻转机构做为一个整体安装在所述滑轨上。

作为进一步改进，所述运动底盘11包含支撑底盘和脚轮；所述脚轮安装在所述支撑底盘底部；所述升降机构固定在所述支撑底盘上。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：

1、弃用丝杆升降的方式，提高了升降操作时的灵活度和平滑度以及升降运动速度。有效改善了丝杆升降时产生的抖动。

2、可实现有效升降行程内任意高度的锁定，提高了操作精度。

3、水平方向180度内的转动增大了使用面积，可减少平台的移动。

4、垂直方向360度任意转动增加了用户对测试头操作面选择的方式，应用更加方便。

5、升降机构与翻转机构配合，实现了有效范围内用户在上下左右以及前方共五个方位的任意角度与外部的探针台（Prober）或机械手（Handler）对接需求，提高对接精度。并有效缩短测试信号线的长度。

附图说明

图1是现有技术中操控平台的连接示意图；

图2是本实用新型中三自由度操控平台的连接示意图；

图3是本实用新型中三自由度操控平台的结构示意图；

图中：11.运动底盘；12.升降机构；13.水平转动机构；14.垂直转动机构；15.抱臂翻转机构；16.固定机构；17.测试头；21.脚轮；22.承重；23.滑轨；24.皮带；25.滑轮；26.锁定装置；27.至测试系统的连线。

具体实施方式