[实用新型]一种化学液分配系统

权利要求书

1.一种化学液分配系统，其特征在于，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，

其中，第一化学液通路包括依次连接的：

第一气动阀，用于控制化学液流入；

第一缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；

第二气动阀，用于配合所述第一缓冲罐补液、排液；

计量泵，用于控制化学液流量；

其中，第二化学液通路包括依次连接的：

第三气动阀，用于控制化学液流入；

第二缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；

第四气动阀，用于配合所述第二缓冲罐补液、排液；

隔膜泵，用于控制化学液流量；

脉冲消除装置，用于消除流量脉冲，使流量稳定；

其中，在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一缓冲罐和第二缓冲罐的底部、中部和上方各有一个液位传感器，当底部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体已经排放完毕；当中部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体到达预定位置；当上方液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐补液完成。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二化学液通路适用于厂端直接供液。