[实用新型]一种特种气体发生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体发生装置领域，尤其涉及一种能够根据试验需求、利用已知浓度的少量几种标准气体配置各种浓度的氟化氢气体，氟化氢和六氟化硫的混合气体，甚至氟化氢、六氟化硫及其分解物的特种气体发生装置。

背景技术

电力工业中，SF6气体以其优异的绝缘性能及灭弧性能已经被广泛地应用于各种中压、高压、超高压电气设备中作为绝缘和灭弧介质，从应用来看，SF6气体绝缘断路器和绝缘变电站GIS是最主要的领域。据不完全统计，全国SF6高压开关和全封闭组合电器GIS达数十万台，已成为电力系统的主要设备，其应用对提高电力生产的安全经济运行起到了很好的作用。

SF6气体绝缘性能虽然优越，但是，根据相关规程要求必须对对其进行严格的质量监督和安全管理。这是因为，SF6气体在其生产过程中或者在高能因子的作用下，会分解产生若干有毒甚至剧毒、强腐蚀性有害杂质，当体系中存在水分、空气（氧）、电极材料、设备材料等，则会导致分解过程的复杂化，致使分解产物的数量和种类明显增加，其危害性也显著加大。

六氟化硫气体杂质的危害主要表现在它的分解产物的毒性和腐蚀性，六氟化硫气体中的杂质及分解产物中酸性物质特别是HF的存在可引起高压开关设备材质的腐蚀；水分的存在，在一定条件下可能导致电气性能劣化，甚至造成严重的设备事故。

因此，为了监测六氟化硫高压开关设备中的气体，国家的多项法律法规（如：工业六氟化硫（GB12022-89）、《六氟化硫电气设备中气体管理和检验导则》（GB/T8905-1996）、《电力设备预防性试验规程》（DL/T596-1996））中都规定了高压开关中六氟化硫气体的各项监测指标，其中就有氟化氢气体。按照现行的国家标准，为了控制六氟化硫气体的质量，对六氟化硫气体要求做酸度（以HF计）测定、杂质组分（含可水解氟化物（以HF计））以及六氟化硫气体纯度等指标的测定。

但是，六氟化硫气体中的氟化氢气体非常不容易检测到，这主要是因为：1，氟化氢气体在特定事件下的生成量非常少，一般情况下不超过10ppm；2，氟化氢气体在六氟化硫气体中的存在时间比较短，氟化氢遇水极易形成氢氟酸。目前，氟化氢（HF）精确检测仍然是GIS设备气体检测中的难点之一。

要精确检测氟化氢气体，就要对氟化氢气体的各种物理化学特性，各种浓度的氟化氢气体对高压开关设备造成的各种破坏性影响进行实验分析，甚至对各种浓度的氟化氢和六氟化硫气体混合中生产的复杂的化学反应进行分析实验，那么，就需要大量的各种浓度的氟化氢气体或者氟化氢和六氟化硫气体混合气体的各种标准气体。

近年来，电力部门对通过检测SF6气体分解物的成分（其中就包含氟化氢的检测）来诊断GIS内部故障的仪器有越来越迫切的需求，但该领域的基础研究和仪器研制还远未满足需要。据调查，现阶段，各种电力部门对高压开关气体中氟化氢（HF）的各项研究和试验都是通过大量的购置各种氟化氢标准物质来进行的，这样，仅仅在购置各种氟化氢标准物质这一块，就需要投入大量的研发资金，另一方面，大量的充装标准物质的气瓶堆积在实验室，不仅占用实验室的面积，降低了实验室的利用率，也给实验室的管理带来了一定的安全隐患。

若有一种氟化氢的气体发生装置，能根据试验需求、利用已知浓度的少量几种标准气体（例如3～5种）配置各种浓度的氟化氢气体，氟化氢和六氟化硫的混合气体，甚至氟化氢、六氟化硫及其分解物的各种气体， 则将很大程度上改变这一状况。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种特种气体发生装置，能够根据试验需求、利用已知浓度的少量几种标准气体配置各种浓度的氟化氢气体，氟化氢和六氟化硫的混合气体，甚至氟化氢、六氟化硫及其分解物；重量轻，易于携带，进一步降低人工及运输成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种特种气体发生装置，包括：用以供给稀释气体或组分气体的第一进气管路和第二进气管路；分别与第一进气管路和第二进气管路相连接的第一质量流量计和第二质量流量计；第一三通阀，其具有三个阀口，其中两个阀口通过管路分别连接在第一质量流量计和第二质量流量计上，另一阀口通过管路连接第二三通阀的一个阀口上，第二三通阀还具有另两个阀口；分别通过管路连接在第二三通阀的另两个阀口上的调节阀和流量计；以及连接在调节阀上的排空管路和连接在流量计上的出气管路；其中：两路输入气体分别经第一进气管路和第二进气管路流经第一质量流量计和第二质量流量计后，再经第一三通阀汇合成混合气体，混合气体经第二三通阀后被分为浓度相同的两支路气体。