[实用新型]一种特种气体发生装置

权利要求书

1.一种特种气体发生装置，其特征在于，所述特种气体发生装置包括：

用以供给稀释气体或组分气体的第一进气管路和第二进气管路；

分别与所述第一进气管路和所述第二进气管路相连接的第一质量流量计和第二质量流量计；

第一三通阀，其具有三个阀口，其中两个阀口通过管路分别连接在所述第一质量流量计和所述第二质量流量计上，另一阀口通过管路连接第二三通阀的一个阀口上，所述第二三通阀还具有另两个阀口； 

分别通过管路连接在所述第二三通阀的所述另两个阀口上的调节阀和流量计；以及连接在所述调节阀上的排空管路和连接在所述流量计上的出气管路；其中：

两路输入气体分别经所述第一进气管路和所述第二进气管路流经所述第一质量流量计和所述第二质量流量计后，再经所述第一三通阀汇合成混合气体，所述混合气体经所述第二三通阀后被分为浓度相同的两支路气体。

2.如权利要求1所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述两支路气体中的一路气体经所述流量计后，由所述出气管路输出一定浓度和流量的待配置气体；

所述两支路气体中的另一路气体经用以调节所述出气管路输出气体流量的所述调节阀后，由所述排空管路排出。

3.如权利要求1或2所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述气体发生装置还包括：分别与所述第一质量流量计和所述第二质量流量计相连接用以控制所述供给稀释气体或组分气体流量的质量流量控制器。

4.如权利要求3所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述质量流量控制器通过一串口通信模块与一动态配气主控器相连接。

5.如权利要求4所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述动态配气主控器分别连接一时钟模块和一显示屏，所述动态配气主控器对所述时钟模块进行数据采集，并把采集的数据信息在所述显示屏上显示。

6.如权利要求4所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述调节阀与所述动态配气主控器连接。

7.如权利要求4所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述流量计与所述动态配气主控器连接。

8.如权利要求1所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述稀释气体包括高纯氮气或纯净空气。

9.如权利要求1所述的特种气体发生装置，其特征在于，所述组分气体包括已知浓度的混合标准气体。