[实用新型]一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。

背景技术

石英坩埚是太阳能硅电池行业用来进行多晶硅铸锭的专用工艺装备，在石英坩埚的生产过程中，由于各种原因，在石英坩埚的成品中会存在有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷；如果将有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷的石英坩埚投入使用会对多晶硅铸锭的安全生产和产品质量产生严重的后果。

发明内容

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置用于对多晶硅铸锭石英坩埚进行灯光检测，检查人员从坩埚的外面进行观察，通过从坩埚壁上透过来的检测灯光就可判断坩埚是否存在质量问题。

本实用新型采用了以下技术方案：一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置，它包括机架，在机架的上方设有回转台，两者通过回转支承活动连接；在机架内设有升降气缸和灯架，所述升降气缸的底部固定在机架上，升降端与灯架相连接，所述灯架上设有检测灯，在机架及回转台上设有与灯架大小相匹配的开口，灯架通过机架及回转台上的开口上下运动。

所述回转支承由回转支承外圈、回转支承内圈及回转支承滚动体组成，所述回转支承外圈与机架的上面板螺栓连接，回转支承内圈与回转台的下面板螺栓连接，在回转支承外圈的内侧面及回转支承内圈的外侧面上均设有滚到，回转支承滚动体在滚到内滚动；所述机架内设有排热风扇，所述排热风扇位于机架的底部；所述机架上设有定位装置将机架及回转台固定；所述回转台上设有输送辊道；所述回转台上设有挡光板，所述挡光板位于回转台上的开口处。

本实用新型具有以下有益效果：本实用新型用于对多晶硅铸锭石英坩埚进行灯光检测，检查人员从坩埚的外面进行观察，通过从坩埚壁上透过来的检测灯光就可判断坩埚是否存在质量问题；本实用新型的回转台是用来检测坩埚的主要工作部件，回转台通过回转支承安装于机架之上并使回转台可围绕回转台与回转支承的共有垂直轴线在人力推动下旋转以便于对坩埚的四周进行细致的观察；在回转台上安装有定位装置，将定位装置上的定位插销插入机架的定位插销孔内就可保证在装上和卸下坩埚以及对其进行观察检查时回转台的稳定，将定位装置上的定位插销从机架的定位插销孔内拨出就可以转动回转台；输送辊道是用来装上和卸下坩埚时方便输送坩埚到工作位置的省力装置；安装了检测灯的灯架固定在升降气缸的活塞杆上端，通过升降气缸的上下运动，保证了检测灯能根据检测的需要上升和下降；而安装在回转台上的挡光板则用于挡住坩埚下方与回转台之间的缝隙，挡住从这些缝隙处泄漏的灯光并将其反射到坩埚内部以保证检测的效果；位于升降气缸下方在机架上安装有排热风扇用于将工作时检测灯发出的热时及时排出去。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型回转台的结构示意图。

图3为本实用新型回转台的俯视图。

具体实施方法

如图1、图2及图3所示，一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置，它包括机架1，在机架1的上方设有回转台4，两者通过回转支承6活动连接；在机架1内设有升降气缸3和灯架7，所述升降气缸3的底部固定在机架1上，升降端与灯架7相连接，所述灯架7上设有检测灯8，在机架1及回转台4上设有与灯架7大小相匹配的开口，灯架7通过机架1及回转台4上的开口上下运动。

所述回转支承6由回转支承外圈11、回转支承内圈12及回转支承滚动体13组成，所述回转支承外圈11与机架1的上面板螺栓连接，回转支承内圈12与回转台4的下面板螺栓连接，在回转支承外圈11的内侧面及回转支承内圈12的外侧面上均设有滚到，回转支承滚动体13在滚到内滚动；所述机架1内设有排热风扇2，所述排热风扇2位于机架1的底部；所述机架1上设有定位装置9将机架1及回转台4固定；所述回转台4上设有输送辊道5；所述回转台4上设有挡光板10，所述挡光板10位于回转台4上的开口处。

工作时，将定位装置上的定位插销插入机架的定位插销孔内就使回转台的处于稳定状态。将石英坩埚从回转台的与输送辊道垂直的一侧倒扣着置于输送辊道上面并将其推送到回转台的中央位置，将定位装置上的定位插销从机架的定位插销孔内拨出，启动电源开关，排热风扇开始运转，检测灯亮；升起升降气缸，使灯架和检测灯进入到倒扣着的石英坩埚内部，转动回转台，检查人员从坩埚的外面进行观察，通过从坩埚壁上透过来的检测灯光就可判断坩埚是否存在质量问题；完成检测后，降下升降气缸，使灯架和检测灯回到回转台下方，将定位装置上的定位插销插入机架的定位插销孔内就使回转台的处于稳定状态，移开石英坩埚将其运送离开回转台，完成一次检测，安装在回转台上的挡光板和用于支承输送辊道辊子内侧的支承架板组成了四面全围的挡光板，用于挡住坩埚下方与回转台之间的缝隙，挡住从这些缝隙处泄漏的灯光并将其反射到坩埚内部以保证检测的效果。