[实用新型]一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置有效
| 申请号: | 201320028099.7 | 申请日: | 2013-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN203069522U | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
| 发明(设计)人: | 王后忠;丁馨明;李留文;孙正荣;周忠伟 | 申请(专利权)人: | 王后忠 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 225326 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 石英 坩埚 检测 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,其特征是它包括机架(1),在机架(1)的上方设有回转台(4),两者通过回转支承(6)活动连接;在机架(1)内设有升降气缸(3)和灯架(7),所述升降气缸(3)的底部固定在机架(1)上,升降端与灯架(7)相连接,所述灯架(7)上设有检测灯(8),在机架(1)及回转台(4)上设有与灯架(7)大小相匹配的开口,灯架(7)通过机架(1)及回转台(4)上的开口上下运动。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,其特征是所述回转支承(6)由回转支承外圈(11)、回转支承内圈(12)及回转支承滚动体(13)组成,所述回转支承外圈(11)与机架(1)的上面板螺栓连接,回转支承内圈(12)与回转台(4)的下面板螺栓连接,在回转支承外圈(11)的内侧面及回转支承内圈(12)的外侧面上均设有滚到,回转支承滚动体(13)在滚到内滚动。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,其特征是所述机架(1)内设有排热风扇(2),所述排热风扇(2)位于机架(1)的底部。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,其特征是所述机架(1)上设有定位装置(9)将机架(1)及回转台(4)固定。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,其特征是所述回转台(4)上设有输送辊道(5)。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,其特征是所述回转台(4)上设有挡光板(10),所述挡光板(10)位于回转台(4)上的开口处。
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