[实用新型]新型高敏紫外光强探测器及紫外光强测控系统有效
| 申请号： | 201320013393.0 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203011528U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 紫外光 探测器 测控 系统 | ||
1.一种新型高敏紫外光强探测器，其特征在于，包括探测器衬底，所述探测器衬底上设置充有热探测气体的密闭腔室和电极，所述密闭腔室上侧由内至外依次被半导体形变膜、透紫外窗口薄膜覆盖；所述半导体形变膜、透紫外窗口薄膜之间形成真空腔，且所述半导体形变膜、透紫外窗口薄膜分别与电极连接。
2.根据权利要求1所述的新型高敏紫外光强探测器，其特征在于，所述透紫外窗口薄膜的材质为纳米SiC薄膜。
3.根据权利要求1所述的新型高敏紫外光强探测器，其特征在于，所述电极的材质为氧化铟锡。
4.根据权利要求1所述的新型高敏紫外光强探测器，其特征在于，所述探测器衬底的材质为绝缘陶瓷。
5.一种紫外光强测控系统，其特征在于，包括如权利要求1~4任一所述的新型高敏紫外光强探测器、信号分析电路、可编辑逻辑控制器和紫外光强控制器，所述新型高敏紫外光强探测器、信号分析电路和可编辑逻辑控制器依次相连，且所述可编辑逻辑控制器与所述紫外光强控制器相连。
6.根据权利要求5所述的紫外光强测控系统，其特征在于，所述信号分析电路通过信号放大器与可编辑逻辑控制器连接。
7.根据权利要求5所述的紫外光强测控系统，其特征在于，还包括数模转换器和计算机，所述可编辑逻辑控制器、数模转换器和计算机依次相连。
8.根据权利要求7所述的紫外光强测控系统，其特征在于，所述的计算机设有液晶触摸屏。
9.根据权利要求5所述的紫外光强测控系统，其特征在于，所述紫外光强控制器通过电流调节器与紫外光源连接。
10.根据权利要求9所述的紫外光强测控系统，其特征在于，所述紫外光源为设有氟乙烯表面涂层的紫外光灯管。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320013393.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
