[发明专利]用于提供电连接的设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于提供电连接的设备和方法。本发明进一步涉及包括这种电连接的设备。

背景技术

微电子设备可能需要电互连。为了避免该互连的任何接口或粘合弱点，可以使用可能在微电子设备中产生机械应力的制造工艺。用于提供可靠的电连接的设备和方法必须不断地被改进。特别是，可能期望的是：通过机械应力来避免破坏，以及进一步改进电连接的质量。

附图说明

为了提供对各方面的进一步理解而包括附图，并且该附图被合并于本说明书中，并构成本说明书的一部分。附图示出了各个方面，并且与说明书一起用于解释各个方面的原理。将容易理解其他方面和各个方面的许多预期优点，因为通过参考以下详细描述，它们变得更好理解。图中的元件不一定是相对于彼此按比例绘制。相同的附图标记可以指代对应的类似部分。

图1示意性地示出根据本公开内容的设备100的截面图；

图2A和2B示意性地示出用于操作根据本公开内容的设备200的方法的截面图；

图3示意性地示出根据本公开内容的设备300的截面图；

图4A至4G示意性地示出用于操作根据本公开内容的设备400的方法的截面图；

图5示意性地示出根据本公开内容的设备500的截面图；

图6示意性地示出根据本公开内容的设备600的截面图；

图7A至7C示意性地示出用于提供根据本公开内容的电互连的方法的截面图。

具体实施方式

在以下的详细描述中，对附图进行参考，在附图中通过图解可以实践本公开内容的特定方面的方式来示出。在这一点上，方向术语(诸如“顶”、“底”、“前”、“后”等)可以参考正被描述的图的取向来使用。因为所描述的设备的部件可以按多个不同的取向来加以定位，所以方向术语可以被用于图解的目的并且决不是限制性的。将理解的是，在不偏离本公开内容的范围的情况下可以利用其他方面并且可以进行结构或逻辑的变化。因此，以下的详细描述将不在限制性意义上加以理解，并且本公开内容的范围由所附权利要求限定。

可以理解的是，除非以其他方式特别指出，否则本文描述的各个示例性方面的特征可以相互结合。

如本说明书中所采用的，术语“耦合”和／或“电耦合”并不意味着意指元件必须直接耦合在一起。在“耦合”或“电耦合”的元件之间可以提供中间元件。

本文描述的设备可以包括具有一个或多个电磁辐射路径的管，沿着该路径，电磁辐射可以通过该管传播。在下文中，术语“管”、“毛细管”和“毛细管状管”可以可互换地使用。管延伸的方向或管的最大延伸的方向可以被认为是纵向。要注意的是，本文描述的管不一定被限制为具有特定几何形式。例如，垂直于纵向的管的截面可以是任意形状。例如，管可以具有圆柱的形式，以使垂直于纵向的管的截面可以具有圆形形式。在进一步的示例中，垂直于纵向的管的截面可以具有正方形形式或椭圆形式。可以形成管的端部，以使在管中延伸的电磁辐射路径可以遵循下面更加详细地描述的特定方向。

术语“电磁辐射路径”可以指代电磁辐射可以沿着其传播的路径。对于人眼能见的电磁辐射的示例性情况(即具有处于大约380纳米至大约740纳米的范围中的波长)而言，“电磁辐射路径”可以被认为是“光学路径”。本文描述的设备和方法可以是基于各种及任意波长的电磁辐射，特别是红外电磁辐射、紫外电磁辐射和人眼能见的电磁辐射。电磁辐射路径可以由垂直于沿着电磁辐射路径传播的电磁辐射波的波前布置的线来表示。因此，管的电磁辐射路径可以指代由电磁辐射源提供的电磁辐射可以沿着其进行穿越所述管的路线。要注意的是，术语“电磁辐射路径”可以特别地指代管的固有特性，其与电磁辐射是否实际上遍历电磁辐射路径的事实无关。

本文描述的管可以由各种材料和材料组合来制造，各种材料和材料组合可以取决于所用电磁辐射的实际波长。例如，与红外(IR)激光源结合使用的管可以由石英材料、ZnS、GaAs和蓝宝石中的至少一个制成或可以包括石英材料、ZnS、GaAs和蓝宝石中的至少一个。管材料可以被特别地选择，以使沿着管中的电磁辐射路径传播的激光可以在管的内壁处反射或折射。为了这个目的，管还可以包括附加层，附加层可以沉积在管的外和／或内壁上，并且可以被配置为提供激光的适当的反射或折射。例如，沉积层可以由一个或多个反射涂层制成或可以包括一个或多个反射涂层。管可以通过任意技术来制造。特别是，管的端部可以通过使用用于制造如透镜、棱镜等的精密光学设备所使用的技术来成型并形成。