[发明专利]一种图案化研磨板的方法以及图案化的研磨板

说明书

背景技术

硬盘驱动系统(Hard disc drive system，HDD)典型地包括一个或多个数据存储磁盘。由滑块携带的换能头被用于读或写磁盘上的数据磁道。滑块由臂组件携带，臂组件包括致动器臂和悬挂组件，其可包括单独的万向架结构或可整体形成万向架。

存储在磁盘上的数据的密度持续增加，需要换能头的更精确定位。常规地，在很多系统中，头部定位通过操作带大型致动电机的致动器臂来完成，例如音圈电机，以在驱动臂末端的弯体上定位头部。高分辨率头部定位机制，或微致动器，有助于提供高数据密度。微致动器通常是压电微致动器。

在HDD系统中各种元件之间的电性连接应当是牢固的、防断开的，并且具有好的导电性。改进的电性连接总是合需的。本公开提供了带改进的电性连接的滑块和换能头。

发明内容

本公开的一个特定实施例是一种图案化研磨板的方法。该方法包括提供具有包含多个凸齿的图案的操作工具，每个凸齿具有基座、至少一个侧壁、以及终端，并且用工具图案化该研磨板以在研磨板的工作面中提供具有工具表面相反图案的工作面，图案化处理塑性地使该研磨板的工作面变形。

本公开的另一个特定实施例是一种图案化的研磨板。该研磨板包括工作面，该工作面包括由连续接触区域分隔的多个离散锯齿。每个锯齿具有从工作面至锯齿终端不大于100微米的深度，从工作面延伸至锯齿终端的倾斜侧壁、以及工作面处不大于1000微米的最大尺寸锯齿。

本公开的另一个特定实施例是一种图案化的研磨板。该研磨板包括工作面，该工作面包含在研磨板中心轴附近呈螺旋状形成多个线匝的槽，并且接触区域位于螺旋槽的相邻线匝之间。该槽具有从工作面延伸至槽终端的倾斜侧壁，从工作面至终端不大于100微米的深度，以及沿着槽长度的可变宽度。

这些以及各种其他特征和优点通过阅读以下详细说明将变得很明显。

附图说明

结合所附附图，本公开可以结合本公开各种实施例的以下详细描述而被更加完整地理解，其中：

图1是磁记录磁盘驱动器和滑块组件的部分侧视图。

图2是图1的磁记录磁盘驱动器和滑块组件的顶视图。

图3A是研磨板和滑块条实施例的图解侧视图；图3B是研磨板和滑块条可选实施例的图解侧视图。

图4是依照本公开实施例构造的图案化研磨板的俯视图。

图5是依照本公开实施例构造的图案化研磨板的放大俯视图。

图6A是依照本公开实施例的研磨板实施例的截面图；图6B是依照本公开实施例的研磨板另一个实施例的截面图。

图7是依照本公开实施例用于形成研磨板的处理的透视图。

图8是在本公开实施例中使用的图案化工具的带放大插图的透视图。

图9是在本公开实施例中使用的另一个图案化工具的带放大插图的透视图。

具体实施方式

本实施例最一般地涉及研磨工具的制造。为了本说明书的目的，尽管没有这么限制，参考在高精度研磨滑块中研磨工具的使用以及在数据存储设备中使用的支撑磁换能头。滑块以及特别是头部，可操作地用于存储和获取在可旋转磁记录磁盘上的数据，需要极其精确的制造公差。本公开提供了一种研磨带研磨板的滑块或具有图案化工作面的压磨板的方法。

研磨处理利用横过旋转研磨板的滑块条的振动或旋转运动以提供滑块条在研磨板上方随机运动以及在研磨过程中随机化在头部表面的板缺陷。某些研磨板具有无研磨的水平工作面并且被与磨料颗粒(举例来说，金刚石)浆体结合使用，而其他研磨板具有嵌入在水平工作面内的磨料颗粒(举例来说，金刚石)。中断研磨表面的一般想法，例如通过在研磨板上形成槽，在业内是公知的。图案化的表面减少了工作面上滑块条的水滑并且液体和碎屑(铁屑)被离心地移出研磨板的外围。

槽板存在的问题，例如，由于缺乏与滑块条的接触，槽过宽和/或过深会使磨料颗粒失去其有效性。太宽的槽提供的表面不连续性对小工作片而言太严重。即使槽可被正确地确定大小，形成该槽可能成本高昂并且耗时。此外，随着时间流逝研磨板磨损和变钝，需要工作面的重新打磨，其再次可能是耗时且昂贵的，并且其大大地缩短了研磨板的整体使用寿命。通过在研磨板上形成图案，按照本公开，对传统槽板的改进被注意到。由于图案化处理塑性地使研磨板表面而不是移除材料变形，研磨板的使用寿命通过提供图案化表面的重复打磨而被延长。此外，与由其他方法图案化的研磨板相比在由本公开方法图案化的研磨板上研磨的滑块条降低了微波纹。