[发明专利]一种图案化研磨板的方法以及图案化的研磨板

权利要求书

1.一种图案化研磨板的方法，包括：

提供具有包含多个凸齿的图案的操作工具，每个凸齿具有基座、至少一个侧壁、以及终端；以及

用工具图案化研磨板以在研磨板的工作面中提供具有工具表面相反图案的工作面，图案化处理塑性地使研磨板的工作面变形。

2.如权利要求1的方法，其中多个凸齿的终端限定点。

3.如权利要求1的方法，其中多个凸齿的终端限定平面。

4.如权利要求3的方法，其中所述平面是矩形。

5.如权利要求3的方法，其中所述平面是圆形。

6.如权利要求1的方法，其中所述多个凸齿从底座至终端逐渐变小。

7.如权利要求1的方法，其中所述操作工具包括带中心轴的轮以及在轮的外圆周上的多个凸齿。

8.如权利要求7的方法，其中图案化的步骤包括围绕中心轴旋转所述操作工具。

9.一种研磨板，包括工作面，工作面包括由连续接触区域分隔的多个离散锯齿，所述锯齿包括：

从工作面至锯齿终端不大于100微米的深度；

从工作面延伸至锯齿终端的倾斜侧壁；

工作面上不大于1000微米的最大锯齿尺寸。

10.如权利要求9的研磨板，其中锯齿的终端由点限定。

11.如权利要求9的研磨板，其中锯齿的终端由平面限定。

12.如权利要求11的研磨板，其中所述平面是矩形并且所述锯齿包括四条倾斜的侧壁。

13.如权利要求9的研磨板，其中深度不大于约10微米。

14.如权利要求9的研磨板，其中深度不大于约1微米。

15.一种研磨板，包括工作面，所述工作面包括：

盘旋在研磨板中心轴附近形成多个线匝的槽，所述槽具有：

从工作面延伸至槽终端的倾斜侧壁；

从工作面至终端不大于100微米的深度；

随着槽长度的可变宽度；以及

位于盘旋槽的相邻线匝之间的接触区域。

16.如权利要求15的研磨板，其中所述槽的终端由点限定。

17.如权利要求15的研磨板，其中所述槽的终端由平端限定。

18.如权利要求15的研磨板，其中所述槽的深度不大于约10微米。

19.如权利要求15的研磨板，其中所述槽的宽度约500至1000微米。

20.如权利要求15的研磨板，其中所述槽包括多个单独和离散的锯齿。