[发明专利]有源消声装置及光刻设备

权利要求书

1.一种有源消声装置，用于消除噪声源产生的初级噪声对待保护部件的影响，所述装置包括：

第一扬声器，用于产生与初级噪声发生干涉的次级噪声；

误差传感器，用于检测发生干涉后的剩余噪声作为剩余噪声信号；

控制单元，用于收集所述剩余噪声信号，并相应地控制所述第一扬声器发出次级噪声。

2.如权利要求1所述的有源消声装置，其特征在于，所述有源消声装置还包括一放大器，所述放大器用于将所述剩余噪声信号放大，并将放大的所述剩余噪声信号传递给所述控制单元。

3.如权利要求1所述的有源消声装置，其特征在于，所述控制单元为补偿滤波器，用于分辨待抑制剩余噪声的频段。

4.如权利要求1所述的有源消声装置，其特征在于，所述有源消声装置还包括一标准传感器，所述标准传感器用于检测所述初级噪声。

5.如权利要求4所述的有源消声装置，其特征在于，所述控制单元包括：FIR滤波器、延时估计器以及计权修正装置；所述标准传感器用于检测初级噪声作为初级噪声信号，并将初级噪声信号以此传送至所述延时估计器和计权修正装置中，再由所述计权修正装置对初级噪声信号进行相应的修改得到修正信号，并将所述修正信号传输至所述FIR滤波器中，再由所述FIR滤波器将所述修正信号传送至所述第一扬声器中，由所述第一扬声器发出次级噪声。

6.如权利要求5所述的有源消声装置，其特征在于，所述有源消声装置还包括一第二扬声器，所述第二扬声器发出的第一补偿噪声用于消除所述次级噪声对所述标准传感器的干扰。

7.如权利要求6所述的有源消声装置，其特征在于，所述标准传感器位于所述第一扬声器与第二扬声器两点连线的中垂线上。

8.如权利要求7所述的有源消声装置，其特征在于，所述第一补偿噪声与所述次级噪声的幅值相同、相位相反。

9.如权利要求5所述的有源消声装置，其特征在于，所述有源消声装置还包括一第三扬声器以及一移相器，所述移相器用于控制所述第三扬声器发出第二补偿噪声，所述第二补偿噪声用于消除所述次级噪声对所述标准传感器的干扰。

10.如权利要求9所述的有源消声装置，其特征在于，所述第三扬声器与所述第一扬声器均位于所述标准传感器背离所述噪声源的一侧。

11.一种光刻设备，内部设有如权利要求1至10中任意一种有源消声装置，用于对所述光刻设备内部进行降噪处理，所述设备包括：

基础框架，设置于所述基础框架顶部的照明装置，设于所述基础框架内部的掩模台，所述掩模台的表面设有掩模，设于所述基础框架内的减振器，与所述减振器相固定的主基板，与所述主基板相固定的物镜，与所述主基板相固定并位于所述物镜一侧的干涉仪，与所述主基板相固定的测量装置以及设于所述基础框架内的工件台。

12.如权利要求11所述的光刻设备，其特征在于，所述有源消声装置设于靠近所述物镜的位置。

13.如权利要求11所述的光刻设备，其特征在于，所述有源消声装置设于靠近所述测量装置的位置。