[发明专利]一种金刚石膜涂层汽车铝轮毂刀片的制备工艺

权利要求书

1.一种金刚石膜涂层汽车铝轮毂刀片的制备工艺，其特征在于其工艺步骤为：

第一步：清洗干燥：在恒温干燥室内清洗去防锈油，通过清洗干燥联动装置将清洗的工件进入干燥箱，温度控制在85-90 ℃；

所述清洗干燥联动装置是：高压喷淋清洗机由输送带或悬挂线送入待清洗的工件，经过一定的程序，完成工件的除油、清洗、烘干、然后由输送带自动送出；

第二步：抛研工件：用金刚石微粉抛研上步清洗干燥后的工件，使涂层金刚石膜形成框架基础；

第三步：预处理：用自制的溶液在超声波清洗机中刻蚀工件表面，烘干；

所述自制的溶液是：用Na₂FeO_4、KOH、H₂0按重量比1:2:20的比例配制而成；

第四步：再次清洗：超声波清洗机中使用丙酮与无水乙醇按照重量比为3:7的配比，再次进行脱脂、去污、清洗、干燥；

第五步：调节设备：将上步烘干的工件置于热丝CVD沉积设备基片台上，将热丝CVD沉积设备抽真空至热偶计示数为5-6 Pa，30-40 min，热丝加电压电流逐步加热至1800-2000 ℃；同时输入C、H分别至1-2Pa,对工件涂层面形核；同时输入Ar至0.5-1.5Pa，对工件加负偏压5A；

第六步：形核阶段：上步加热时间完成后，调节热丝CVD沉积设备的热丝电压电流逐步加热至2500℃，将热丝CVD沉积设备抽真空至热偶计示数为6-7 Pa， 50 min；

第七步：生长、沉积阶段：上步加热时间完成后，调节热丝电压电流逐步加热至2800℃，将热丝CVD沉积设备抽真空至热偶计示数为6-7 Pa，加热6小时；

第八步：反打：调整正偏压至8A运行约15 min，反打完成，金刚石薄膜沉积完毕。