[发明专利]一种氮氧化铬和类金刚石膜复合涂层挂面刀辊的制备工艺

权利要求书

1.一种氮氧化铬和类金刚石膜复合涂层挂面刀辊的制备工艺，其特征在于包括如下步骤：

第一步：清洗干燥：在恒温干燥室内用清洗液清洗去除面刀杆表面密布的大凹槽和小凹槽防锈油和污渍，通过清洗干燥联动装置将清洗的工件进入干燥箱，温度控制在60-70℃,烘干工件装入专用夹具备用进入下一步；

所述清洗干燥联动装置是：高压喷淋清洗机由输送带或悬挂线送入待清洗的工件，经过一定的程序，完成工件的除油、清洗、烘干、然后由输送带自动送出；

所述清洗液：金属洗涤剂与除油剂按1:1重量比配制；

第二步：工件预处理喷砂：用金刚石W10微粉喷射外圆，使用物理方法刻蚀工件表面，使涂层类金刚石膜形成框架基础；

第三步：工件预处理抛研，用金刚石W5微粉抛研工件外圆，进一步刻蚀工件表面；

第四步：超声波清洗机中使用帕卡濑津脱脂剂FC-4360进行脱脂清洗干燥；

第五步：超声波清洗机中使用丙酮与无水乙醇按照重量比3:7的配比，再次进行脱脂、去污、清洗、干燥；

第六步：将再次清洗干燥后的工件装入DLC复合涂层设备；

第七步：通入Ar至0.5-1.5Pa，对工件加偏压600-800V；

第八步：通入N和C、H至l-2Pa，对工件涂层面形核，即：为涂层致密的打底层和工作层编织构架；

第九步：通入N和O ₂，开启2个铬靶沉积氮氧化铬过渡层CrNO₂,厚度20-30μm；

第十步：涂层过渡层CrNO₂之后，间歇35min,通入N和CH₄、H，开启8个石墨磁过滤弧靶，打底层上沉积DLC外膜层，沉积7h，DLC类金刚石薄膜厚度10-15μm。