[发明专利]带电路的悬挂基板和其制造方法

说明书

本发明提供带电路的悬挂基板和其制造方法。基底绝缘层以形成有具有第1厚度的厚部和具有第2厚度的薄部的方式形成在导电性的支承基板之上。第2厚度小于第1厚度。在厚部的上表面与薄部的上表面之间形成有交界面。厚部的上表面与交界面之间的交界线沿第1方向延伸。以在基底绝缘层的厚部之上和薄部之上延伸的方式形成写入用布线图案和读取用布线图案。写入用布线图案和读取用布线图案的侧边沿与第1方向交叉的第2方向延伸，第2方向与第1方向成60度～90度的角度。

技术领域

本发明涉及带电路的悬挂基板和其制造方法。

背景技术

在硬盘驱动器装置等驱动装置中使用有驱动器。这样的驱动器具备：臂，其以可旋转的方式设于旋转轴；以及磁头用的带电路的悬挂基板，其安装于臂。带电路的悬挂基板是用于将磁头定位于磁盘的所希望的轨道上的布线电路基板。

在日本特开2012－9111号公报中，记载有一种在支承滑橇的金属基板之上隔着基底绝缘层形成有布线部的挠性件。滑橇与布线部相连接。经由布线部向滑橇传递存储、再生信号。

在日本特开2012－9111号公报的挠性件中，在金属基板的一部分上形成有间隙。另外，为了减低对布线部的刚性的提高，基底绝缘层的与间隙相重叠的部分形成为比基底绝缘层的其他部分薄。然而，当在厚度不恒定的基底绝缘层之上形成布线图案时，有时布线图案会产生断线或短路等不良情况。

发明内容

本发明的目的在于提供能够在确保布线图案的可靠性的同时能够以高精度调整姿势角的带电路的悬挂基板和其制造方法。

（1）本发明一技术方案的带电路的悬挂基板具备：支承基板，其由导电性材料形成；绝缘层，其形成于支承基板之上，并包括具有第1厚度的第1部分和具有比第1厚度小的第2厚度的第2部分；以及布线图案，其以在绝缘层的第1部分之上和第2部分之上延伸的方式形成，在第1部分的上表面与第2部分的上表面之间形成有交界面，第1部分的上表面与交界面之间的交界线沿第1方向延伸，布线图案的侧边沿与第1方向交叉的第2方向延伸，以使第2方向与第1方向成60度～90度的角度的方式在绝缘层的上表面之上形成布线图案。

在该带电路的悬挂基板中，导电性的支承基板之上的绝缘层形成有具有第1厚度的第1部分具有第2厚度的第2部分。由此，能够提高带电路的悬挂基板在特定部分处的弯曲性并能够控制带电路的悬挂基板的刚性。

在第1部分的上表面与第2部分的上表面之间形成有交界面。因此，在利用光刻技术在绝缘层之上形成布线图案的工序中，在交界面产生曝光用光的反射，反射光会间接地照射到其他区域。

采用上述结构，第1部分的上表面与交界面之间的交界线沿第1方向延伸，布线图案的侧边沿与第1方向交叉的第2方向延伸，第2方向与第1方向成60度～90度的角度。在该情况下，曝光用光被交界面向与布线图案的延伸方向接近的方向反射。因此，反射光基本上不会影响原来的曝光用光的图案。由此，能够防止利用光刻技术形成的布线图案产生断线或短路等不良情况。

其结果，能够在确保布线图案的可靠性的同时能够以高精度调整带电路的悬挂基板的姿势角。

（2）也可以是，以使第2方向与第1方向成90度的角度的方式在绝缘层的上表面上形成布线图案。

在该情况下，曝光用光被交界面向与布线图案的延伸方向大致平行的方向反射。因此，在交界面处产生的反射光不会影响原来的曝光用光的图案。由此，能够充分防止由光刻技术形成的布线图案产生断线或短路等不良情况。

（3）也可以是，交界面相对于绝缘层的第2部分的上表面以大于0度且小于90度的角度倾斜。

在以使交界面相对于绝缘层的第2部分的上表面呈90度的角度的方式形成第1部分和第2部分时，能够降低在交界面处产生的反射光，但却使在绝缘层形成第1部分和第2部分的步骤极为复杂化。另外，在弯曲时，应力容易集中在第2部分与交界面之间的交界线附近。