[发明专利]感光性组合物与光刻胶

说明书

本发明涉及一种感光性组合物与光刻胶。光刻胶由一感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)以及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元(repeating unit)I：其中R₁为H或CH₃，R₂为C₂～C₄的亚烷基，n为2～40的整数，A为H或第一光反应单体(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基，以粘合剂的固含量为100重量份为基准，第一光反应单体约为25～95重量份。光引发剂以粘合剂的固含量为100重量份为基准，光引发剂约为0.5～15重量份。

技术领域

本发明涉及感光性组合物及光刻胶(photoresist)，特别是有关于由生质材料形成的感光性组合物及光刻胶。

背景技术

电子产业的光刻(lithography)工艺例如印刷电路板工艺会使用大量的光刻胶。一般的光刻胶，比方说负型光刻胶(negative type photoresist)，主要全是由石油化学品例如丙烯酸酯(压克力，acrylate)系列原料所形成。当光刻胶在光刻程序例如显影、剥膜步骤等后，会成为无法回收使用的废弃物。这种废弃物每年有数千吨的产生量，且多是以掩埋或焚化等的方式处理。因此，光刻胶不但非常耗费石油材料，并且对自然环境有不良的影响。

发明内容

本发明涉及一种感光性组合物。感光性组合物与光刻胶主要是采用具有可生物分解性的生质材料形成，因此可再生使用，且不会对自然环境造成负荷。

根据本发明的一实施例，提出一种感光性组合物。感光性组合物包括一丙烯酸酯系粘合剂(acrylic binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)以及一光引发剂。第一光反应单体具有至少一乳酸寡聚物及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基，以粘合剂的固含量为100重量份为基准，第一光反应单体约为25～95重量份。以粘合剂的固含量为100重量份为基准，光引发剂约为0.5～15重量份

根据本发明的另一实施例，提出一种感光性组合物。感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体以及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元(repeating unit)I：

其中R₁为H或CH₃，R₂为C₂～C₄的亚烷基，n为2～40的整数，A为H或第一光反应单体(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基。以粘合剂的固含量为100重量份为基准，第一光反应单体约为25～95重量份。以粘合剂的固含量为100重量份为基准，光引发剂约为0.5～15重量份。

根据本发明的又一实施例，提出一种光刻胶。光刻胶由前述的感光性组合物经配制而形成。

具体实施方式

为了对本发明的上述及其它方面有更佳的了解，下文特举较佳实施例作详细说明如下：

根据本发明的实施例，感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)及一光引发剂。

粘合剂是由一粘合组合物经聚合反应而成。实施例中，粘合剂例如是丙烯酸酯系粘合剂(acrylic binder agent)。举例来说，粘合组合物包括一乳酸寡聚物，粘合剂例如由带有不饱和丙烯酸酯系官能基的乳酸寡聚物经共聚合反应而制得。共聚合反应可以是经由加热进行的溶液聚合法。