[发明专利]感光性组合物与光刻胶有效
| 申请号: | 201310730591.3 | 申请日: | 2013-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN104423166B | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
| 发明(设计)人: | 林显光;陈素梅;郑昭德;刘玉玲;陈素惠 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 组合 光刻 | ||
1.一种感光性组合物,包括:
一丙烯酸酯系粘合剂,所述粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元I:
其中R1为H或CH3,R2为C2~C4的亚烷基,n为2~40的整数,A为H;
一第一光反应单体,所述第一光反应单体的化学结构以化学式表示如下:
其中R1为H或CH3,n为2~40的整数,m为2~6的整数,B为多官能基主体,以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准,所述第一光反应单体为25~95重量份;以及
一光引发剂,以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准,所述光引发剂为0.5~15重量份。
2.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述第一光反应单体的化学结构以化学式表示如下:
其中n为2~40的整数。
3.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述光引发剂包括2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,4-二乙基硫杂蒽酮、异丙基硫杂蒽酮、2-甲基-1-[4-(甲基-硫代)苯]-2-吗啉基-1-丙酮或二苯甲酮。
4.权利要求3所述的感光性组合物,还包括一增感剂,所述增感剂包括苯甲酸-2-二甲胺乙酯、对二甲胺苯甲酸乙酯或4,4'-双(二甲氨基)二苯酮,且以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准,所述增感剂为0.1~5重量份。
5.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述粘合剂由一粘合组合物经聚合反应而形成,所述粘合组合物包括一乳酸寡聚物,所述粘合组合物的乳酸寡聚物占所述粘合剂的固含量为10~90重量百分比。
6.权利要求1所述的感光性组合物,还包括一第二光反应单体,其中所述第二光反应单体包括五丙烯酸羟基双异戊五酯、六丙烯酸双异戊六酯、六丙烯酸芳氨基甲酸乙酯、三丙烯酸三甲酯丙烷、乙氧化三丙烯酸三甲酯丙烷、三甲基丙烯酸三甲酯丙烷、乙氧化三甲基丙烯酸三甲酯丙烷、三丙烯酸羟基异戊三酯、三甲基丙烯酸羟基异戊三酯、四丙烯酸异戊四酯或四甲基丙烯酸异戊四酯。
7.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述粘合剂的化学结构还具有表示如下的重复单元II:
其中R1为H或CH3。
8.权利要求7所述的感光性组合物,其中所述粘合剂的化学结构还具有表示如下的重复单元III:
其中R1为H或CH3,R2为C1~C4的烷基。
9.一种光刻胶,其中所述光刻胶由权利要求1至8中任一项所述的感光性组合物配制而形成。
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