[发明专利]感光性组合物与光刻胶有效

专利信息
申请号: 201310730591.3 申请日: 2013-12-26
公开(公告)号: CN104423166B 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 林显光;陈素梅;郑昭德;刘玉玲;陈素惠 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: G03F7/033 分类号: G03F7/033
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 感光性 组合 光刻
【权利要求书】:

1.一种感光性组合物,包括:

一丙烯酸酯系粘合剂,所述粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元I:

其中R1为H或CH3,R2为C2~C4的亚烷基,n为2~40的整数,A为H;

一第一光反应单体,所述第一光反应单体的化学结构以化学式表示如下:

其中R1为H或CH3,n为2~40的整数,m为2~6的整数,B为多官能基主体,以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准,所述第一光反应单体为25~95重量份;以及

一光引发剂,以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准,所述光引发剂为0.5~15重量份。

2.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述第一光反应单体的化学结构以化学式表示如下:

其中n为2~40的整数。

3.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述光引发剂包括2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,4-二乙基硫杂蒽酮、异丙基硫杂蒽酮、2-甲基-1-[4-(甲基-硫代)苯]-2-吗啉基-1-丙酮或二苯甲酮。

4.权利要求3所述的感光性组合物,还包括一增感剂,所述增感剂包括苯甲酸-2-二甲胺乙酯、对二甲胺苯甲酸乙酯或4,4'-双(二甲氨基)二苯酮,且以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准,所述增感剂为0.1~5重量份。

5.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述粘合剂由一粘合组合物经聚合反应而形成,所述粘合组合物包括一乳酸寡聚物,所述粘合组合物的乳酸寡聚物占所述粘合剂的固含量为10~90重量百分比。

6.权利要求1所述的感光性组合物,还包括一第二光反应单体,其中所述第二光反应单体包括五丙烯酸羟基双异戊五酯、六丙烯酸双异戊六酯、六丙烯酸芳氨基甲酸乙酯、三丙烯酸三甲酯丙烷、乙氧化三丙烯酸三甲酯丙烷、三甲基丙烯酸三甲酯丙烷、乙氧化三甲基丙烯酸三甲酯丙烷、三丙烯酸羟基异戊三酯、三甲基丙烯酸羟基异戊三酯、四丙烯酸异戊四酯或四甲基丙烯酸异戊四酯。

7.权利要求1所述的感光性组合物,其中所述粘合剂的化学结构还具有表示如下的重复单元II:

其中R1为H或CH3

8.权利要求7所述的感光性组合物,其中所述粘合剂的化学结构还具有表示如下的重复单元III:

其中R1为H或CH3,R2为C1~C4的烷基。

9.一种光刻胶,其中所述光刻胶由权利要求1至8中任一项所述的感光性组合物配制而形成。

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