[发明专利]一种无菌耐腐蚀的类金刚石膜涂层医用手术钳的制备工艺

权利要求书

1.一种无菌耐腐蚀的类金刚石膜涂层医用手术钳的制备工艺，其特征在于包括如下步骤：

第一步：拆卸分解：将带有关节、齿槽、沟纹的手术钳的器械关节打开，拧开螺丝，拆卸分解，为了使沉积的DLC膜全方位覆盖，防止留有缝隙和死角再次腐蚀和锈蚀；

第二步：清洗干燥，用无水酒精清洗去除基体表面防锈油，然后将清洗的基体放入恒温干燥箱，在1-2min内干燥，温度控制在50-60℃；

所述的清洗和干燥是连续的动作，清洗后在10-30s内进行干燥，防止外表面氧化会严重影响DLC膜的附着力；

第三步：预处理：用预处理溶液在超声波清洗机中刻蚀基体表面即进行“预处理” 50-60min，烘干，用以增加金刚石膜沉积的成核密度；

所述预处理溶液是：用Na₂FeO₄、氢氧化钾、水按重量比1:2:20的比例配制而成；

第四步：溅射刻蚀清洗：首先通入Ar、C或H对基体进行6-8min的预溅射；

溅射参数为微波源（ECR）功率800W，直流电压1600V；

第五步：涂层过渡层：离子轰击刻蚀清洗后，继续抽真空，真空度要达到7.0×10^-4Pa，通入N和O₂，阴极采用纯度为99.9%的金属钛靶材，利用脉冲高偏压产生的注入效应，沉积NO₂Ti为过渡膜层（打底层）；

第六步：涂层DLC工作层膜：在第一层之后，关闭加温电源，间歇时间5min，这是让工件进一步冷却，使下一步的DLC涂层具有很高的附着力；

然后再开启阴极电源，通入H和CH₄，阴极靶材为纯度99.9%的石墨，采用直流偏压，控制温度＜150℃，在过渡膜层NO₂Ti上沉积DLC工作膜层，类金刚石薄膜沉积完毕。