[发明专利]用于自动化物料传输系统的输送车

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域，尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中输送车。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统，其包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备（STOCKER）和一个或多个空中升降机输送车（Overhead Hoist Transport，简称OHT），用于在硅片制造区域的各工位之间传送硅片。存放在STOCKER中的硅片被装入盒式容器，例如前端开口片盒（Front Opening Unified Pod，简称FOUP），随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。

通常来说，一个硅片盒流通与机台与存储设备之间或机台与机台之间，都是通过一辆输送车来运输，由于轨道有多辆输送车同时在作业，当硅片盒的起点和终点比较远的时候，搬送它的输送车需要经过较长的轨道路段，其中就可能遇到其他输送车而被迫停止或绕道行驶，一定程度上降低了搬送效率。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车。

为实现上述目的，本发明提供一种用于自动化物料传输系统的输送车，该输送车悬吊于系统的轨道，其包括车身、车身内的控制单元、车身顶部的车轮和车身底部的升降装置，该升降装置包括两个伸缩机械臂，该两个伸缩机械臂通过旋转装置分别固定在车身底部的前后两侧，并可水平旋转，该两个伸缩机械臂的末端均设有硅片盒取放部件。

进一步地，该旋转装置是两个第一转盘，该两个伸缩机械臂分别固定在两个第一转盘上，第一转盘固定在车身底部并可水平旋转。

进一步地，该旋转装置是一个第二转盘，该两个伸缩机械臂固定在一个第二转盘上，第二转盘固定在车身底部并可水平旋转。

进一步地，该旋转装置包括两个第一转盘和一个第二转盘，该两个伸缩机械臂分别固定在两个第一转盘是，第一转盘固定在第二转盘上并可水平旋转，第二转盘固定在车身底部并可水平旋转。

进一步地，该伸缩机械臂由至少两段直臂折叠式连接而成。

进一步地，该伸缩机械臂由液压泵驱动伸缩，该液压泵与控制单元信号连接。

进一步地，该硅片盒取放部件通过球形旋转机构与伸缩机械臂的末端相连，以使其在伸缩机械臂的任一动作状态下均能保持向下的抓取方向。

本发明采用以上技术方案，提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车，在输送车车身底部安装两个伸缩机械臂，可以增加硅片盒的运载数量，并可使硅片盒可以在这两个伸缩机械臂之间传递并传递给临近的输送车，提高了搬送效率；通过旋转装置的设置，可以实现伸缩机械臂的伸缩方向或实现硅片盒前后位置的互换，提高了输送车的搬送方式和效率。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是本发明第一实施例输送车的第一状态结构示意图；

图2是本发明第一实施例输送车的第二状态结构示意图；

图3是本发明第一实施例输送车中取放抓手的连接示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图1，本实施例用于自动化物料传输系统的输送车1悬吊于系统的轨道9之上，其包括车身11、车身内的控制单元（未图示）、车身顶部的车轮12和车身底部的升降装置。

其中，升降装置包括第一伸缩机械臂13和第二伸缩机械臂14，第一伸缩机械臂13和第二伸缩机械臂分别通过第一转盘15和第二转盘16固定在车身底部的前后两侧，并可水平旋转。第一伸缩机械臂13由第一前直臂131和第一后直臂132折叠式连接而成，第一前直臂131末端设有第一取放抓手133用于取放硅片盒；第二伸缩机械臂14由第二前直臂141和第二后直臂142折叠式连接而成，第二前直臂141的末端设有第二取放抓手143用于取放硅片盒。