[发明专利]一种升降装置和加工设备

说明书

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体地，涉及一种升降装置和加工设备。

背景技术

在显示技术领域中，液晶显示器中显示基板（如阵列基板、彩膜基板、显示面板等）的制备会涉及到多种设备，例如：干法刻蚀机，用于对显示基板上的一些膜层进行干法刻蚀；镀膜机，用于在显示基板上形成某些膜层。在这些设备中，通常会应用到支撑针。

如图1所示，支撑针1通常用于将完成某道工序的显示基板13顶起，以便机械手将其取走或送入下一道工序；或者，将未进行某道工序的显示基板13降下至加工位置，以便对其进行该道工序的加工。支撑针1的一端通过刚性连接件14连接有驱动装置（即驱动单元2），驱动装置做伸缩运动，以推动支撑针1做升降运动。通常情况下，刚性连接件14和驱动装置与支撑针1设置在同一直线上，这样有利于使刚性连接件14在驱动装置的推动下直接作用于支撑针1。

但对于加工显示基板的诸多设备来说，位于同一直线上的刚性连接件和驱动装置占用空间太大，不利于设备上其他结构的安装设置，也使得设备的高度难以降低。如对于干法刻蚀机，刚性连接件和驱动装置通常设置在机台下部，机台下部空间比较狭小，除刚性连接件和驱动装置之外还需要设置配置箱等其他结构；另外，如果机台下部的装置出现故障，工程师还要在机台下部进行维修作业。

可见，沿同一直线设置的刚性连接件和驱动装置不仅占用空间较大，不利于机台下其他结构的安装设置，而且也不利于工程师在机台下部进行维修和保养作业。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供了一种升降装置和加工设备。该升降装置通过在支撑针与驱动单元之间设置柔性连接部，使支撑针与驱动单元之间的空间能够被有效利用，同时还节省了支撑针与驱动单元之间的空间。

本发明提供一种升降装置，用于对显示基板进行升降，包括支撑针和驱动单元，所述支撑针的第一端与所述驱动单元连接，所述支撑针的第二端用于支撑所述显示基板，所述支撑针能在所述驱动单元的驱动下在竖直方向上做升降运动，所述支撑针与所述驱动单元之间通过柔性连接部连接。

优选的，所述驱动单元包括驱动杆，所述驱动杆能做伸缩运动；所述柔性连接部包括柔性管以及设置于所述柔性管内的柔性动力传递件，所述柔性管和所述柔性动力传递件的一端与所述驱动杆活动连接，所述柔性管和所述柔性动力传递件的另一端与所述支撑针的第一端活动连接；所述驱动杆能推动所述柔性动力传递件在所述柔性管的内部移动；所述支撑针的升降方向与所述驱动杆的伸缩方向之间的夹角为θ，0°＜θ≤90°。

优选的，所述柔性动力传递件包括软金属线；

所述柔性管的一端套接在所述支撑针的第一端上，所述柔性管的另一端套接在所述驱动杆上，所述支撑针的第一端和所述驱动杆都能沿所述柔性管的内壁滑动；

所述软金属线的一端与所述支撑针的第一端可拆卸连接，所述软金属线的另一端与所述驱动杆连接。

优选的，所述柔性动力传递件包括软金属线和刚性传动轴；

所述支撑针的第一端设置有底座，所述支撑针垂直设置在所述底座上且所述支撑针的第一端可拆卸连接在所述底座内；

所述柔性管的一端套接在所述驱动杆上，所述软金属线的一端与所述驱动杆连接，所述驱动杆能沿所述柔性管的内壁滑动；所述软金属线的另一端连接有刚性传动轴，所述柔性管与所述刚性传动轴之间设置有密封圈，所述刚性传动轴能局部穿过所述密封圈伸出至所述柔性管外，伸出至所述柔性管外的所述刚性传动轴的顶端与所述底座的底面相接触并连接。

优选的，所述软金属线包括多条，多条所述软金属线向同一方向拧成为一股；所述软金属线采用镁、铝或镁铝合金材料制成，所述柔性管采用丁腈橡胶和钢丝混合制成。

优选的，所述软金属线和所述柔性管的内壁之间还设置有润滑层，所述润滑层包括锡纸或润滑油。

优选的，所述柔性动力传递件包括驱动力传送液和刚性传动轴；

所述支撑针的第一端设置有底座，所述支撑针垂直设置在所述底座上且所述支撑针的第一端可拆卸连接在所述底座内；

所述柔性管的一端套接在所述驱动杆上，所述驱动杆能沿所述柔性管的内壁滑动；所述驱动力传送液充满所述刚性传动轴与所述驱动杆之间的所述柔性管，所述柔性管与所述刚性传动轴之间设置有密封圈，所述刚性传动轴能局部穿过所述密封圈伸出至所述柔性管外，伸出至所述柔性管外的所述刚性传动轴的顶端与所述底座的底面相接触并连接。

优选的，所述刚性传动轴的伸出至所述柔性管外的长度等于所述支撑针做升降运动时的升降距离。