[发明专利]一种水晶灯挂件玻璃的制作方法

权利要求书

1.一种水晶灯挂件玻璃的制作方法，其特征在于包括以下步骤：

A、将已成型的水晶灯挂件清洗后，放入磁控溅射托盘，然后送入镀膜机；

B、采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，直流电源溅射不锈钢平面靶，在水晶挂件上磁控溅射一SSTOx层；

C、采用氮气作为反应气体，直流电源溅射铬平面靶，在SSTOx层上磁控溅射一氮化铬薄膜层；

D、采用氧气作为反应气体，交流电源溅射锌锡靶，在氮化铬薄膜层上磁控溅射一氧化锌锡层；

E、采用氧气作为反应气体，交流电源溅射钛靶，在氧化锌锡层上磁控溅射一氧化钛层。

2.根据权利要求1所述的一种水晶灯挂件玻璃的制作方法，其特征在于步骤A中水晶灯挂件的清洗具体包括：将成型的水晶灯挂件放在丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟。

3.根据权利要求1所述的一种水晶灯挂件玻璃的制作方法，其特征在于步骤B中所述SSTO_x层的厚度为30～45nm，氩气与氧气的体积比为1：2，溅射功率为75～115KW，分两个阴极溅射。

4.根据权利要求1所述的一种水晶灯挂件玻璃的制作方法，其特征在于步骤C中氮化铬薄膜层的厚度为3～5nm，氩气与氮气的体积比为1:2，直流电源溅射功率3～6KW。

5.根据权利要求1所述的一种水晶灯挂件玻璃的制作方法，其特征在于步骤D中氧化锌锡层的厚度为10～20nm，ZnSn合金旋转靶中Zn与Sn的摩尔比为48:52，氩气与氧气的体积比为1:2，所述交流电源的溅射功率为30～45KW。

6.根据权利要求1所述的一种水晶灯挂件玻璃的制作方法，其特征在于步骤E氧化钛层的厚度为10～20nm，氩气与氧气的体积比为1:2，所述交流电源的溅射功率为30～45KW。