[发明专利]一种基板缓存装置

权利要求书

1.一种基板缓存装置，包括安装支架，其特征在于，还包括：

多个用于存放基板的支撑结构，相互平行、间隔地由上至下设置于所述安装支架上，且相对于所述安装支架活动设置；

驱动结构，用于当机械手欲在其中的第一支撑结构上方进行取放基板操作时，推动所述第一支撑结构以上的所述支撑结构向上滑动，所述第一支撑结构的上方留出机械手进行取放操作的转换空间。

2.如权利要求1所述的基板缓存装置，其特征在于，相邻所述支撑结构之间具有第一空间距离，所述第一空间距离大于等于两基板之间不产生静电的最小距离。

3.如权利要求2所述的基板缓存装置，其特征在于，所述安装支架包括一顶平面，位于最上方的所述支撑结构与所述顶平面之间具有第二空间距离，所述第二空间距离大于等于机械手进行取放操作所需转换空间在竖直方向上的距离、机械手厚度和机械手进行取放操作时在竖直方向上的位移之和。

4.如权利要求2所述的基板缓存装置，其特征在于，所述驱动结构还用于推动所述第一支撑结构及所述第一支撑结构以上的所述支撑结构向上滑动，所述第一支撑结构的下方留出第三空间距离，用于机械手取放所述第一支撑结构上的基板时，伸入所述第一支撑结构下方。

5.如权利要求4所述的基板缓存装置，其特征在于，所述驱动结构包括：

第一支撑体，用于当机械手欲在所述第一支撑结构上方进行取放基板操作时，承托住所述第一支撑结构上方的第二支撑结构；

第二支撑体，用于当机械手欲在所述第一支撑结构上进行取放基板操作时，承托住所述第一支撑结构；

第一驱动电机，用于驱动所述第一支撑体沿竖直方向上下运动；

第二驱动电机，用于驱动所述第一支撑体沿水平方向靠近或远离所述支撑结构；

第三驱动电机，用于驱动所述第二支撑体沿竖直方向上下运动；

第四驱动电机，用于驱动所述第二支撑体沿水平方向靠近或远离所述支撑结构。

6.如权利要求5所述的基板缓存装置，其特征在于，所述驱动结构还包括：

至少两个第一竖直支架，每一所述第一竖直支架上设置有一个所述第一支撑体，其中所述第一驱动电机驱动所述第一支撑体沿所述第一竖直支架上下运动；

至少一个第一水平支架，两个所述第一竖直支架分别与所述第一水平支架连接，所述第二驱动电机通过驱动所述第一竖直支架相对于所述第一水平支架运动，使所述第一支撑体沿水平方向靠近或远离所述支撑结构；

至少两个第二竖直支架，每一所述第二竖直支架上设置有一个所述第二支撑体，其中所述第三驱动电机驱动所述第二支撑体沿所述第二竖直支架上下运动；

至少一个第二水平支架，两个所述第二竖直支架分别与所述第二水平支架连接，所述第四驱动电机通过驱动所述第二竖直支架相对于所述第二水平支架运动，使所述第二支撑体沿水平方向靠近或远离所述支撑结构。

7.如权利要求4所述的基板缓存装置，其特征在于，所述驱动结构包括：

第一支撑体，用于当机械手欲在所述第一支撑结构上方进行取放基板操作时，承托住所述第一支撑结构上方的第二支撑结构；

第二支撑体，用于当机械手欲在所述第一支撑结构上进行取放基板操作时，承托住所述第一支撑结构；

第一驱动电机，用于驱动所述第一支撑体沿竖直方向上下运动；

第二驱动电机，用于驱动所述第一支撑体和所述第二支撑体沿水平方向靠近或远离所述支撑结构；

第三驱动电机，用于驱动所述第二支撑体沿竖直方向上下运动。