[发明专利]工件贴合方法及工件贴合装置

权利要求书

1.一种工件贴合方法，其将相对置的一对工件相互对位，并且以粘结剂被夹在其间的方式重叠，通过所述粘结剂的固化贴合所述工件，所述工件贴合方法的特征在于，具备：

临时固定工序，利用电磁波的照射使被夹在所述工件之间的所述粘结剂的一部分局部临时固化来临时固定所述工件；及

正式固化工序，利用将所述粘结剂整体分割为多个分割区域的遮光掩模，通过对多个所述分割区域的每一个照射电磁波来使所述粘结剂整体依次分别正式固化。

2.根据权利要求1所述的工件贴合方法，其特征在于：

作为所述粘结剂使用光固化粘结剂，

在所述正式固化工序中，利用相对于所述粘结剂的透光形状不同的多种所述遮光掩模，通过对所述粘结剂改变所述遮光掩模的种类来进行光照射，使所述分割区域依次分别局部正式固化。

3.根据权利要求1或2所述的工件贴合方法，其特征在于：

作为相对于所述粘结剂的透光形状不同的多种所述遮光掩模，利用以多个不同形状的遮光图案向规定方向连续的方式形成的掩模板，

在所述正式固化工序中，向所述遮光图案的形成方向移动所述掩模板，通过所述遮光图案分别朝向所述粘结剂进行光照射，由此使所述粘结剂的所述分割区域依次分别局部正式固化。

4.一种工件贴合装置，其经由通过光照射固化的粘结剂贴合相对置且相互对位的一对工件，所述工件贴合装置的特征在于，具备：

载物台，以不可移动的方式载置夹有所述粘结剂的所述工件；

遮光掩模，朝向与被载置于所述载物台的所述工件相对置的位置移动自如地设置；

照明部，经由所述遮光掩模朝向所述粘结剂进行光照射；及

移动构件，使所述遮光掩模相对于被载置于所述载物台的所述工件相对移动，

所述粘结剂具有被与所述工件相对置的所述遮光掩模分割为多个区域的分割区域，

所述遮光掩模以分别向由所述移动构件进行的所述遮光掩模的移动方向排列的方式具有从所述照明部朝向所述粘结剂的所述分割区域的透光形状不同的多个遮光图案，

所述移动构件被控制成相对于从所述照明部朝向所述载物台的照射区断续地移动所述遮光掩模来使所述遮光图案分别暂停，

所述照明部被控制成在所述移动构件暂停时朝向所述遮光掩模的所述遮光图案分别进行光照射，使所述粘结剂的所述分割区域依次分别进行局部正式固化，从而正式固化所述粘结剂整体。