[发明专利]一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置及精馏工艺

说明书

技术领域

本发明涉及六氟化硫生产技术领域，具体说是一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置及精馏工艺。

背景技术

现有的用于工业级六氟化硫生产的精馏装置，如图1所示，其装置主要为一个精馏塔2′，六氟化硫粗制气体经膜压机加压后进入预冷器1′，在高压及低温状态下由气态转化为液态，之后从精馏塔2′中部进入精馏塔2′的塔釜。在塔釜内，液态六氟化硫吸热后气化，气化后的六氟化硫沿塔上升，与在塔顶冷凝器3′冷凝成液态的六氟化硫进行热量交换，大部分的六氟化硫气体冷凝成液态，返回塔釜，而小部分的不凝气体如空气和四氟化碳从塔顶冷凝器3′逸出，进入捕集器。

现有的用于工业级六氟化硫生产的精馏装置不能生产电子级六氟化硫（即电子工业用气体六氟化硫），原因如下：不能去除另外两种杂质成份六氟乙烷和八氟丙烷，因为在常温常压下六氟乙烷的沸点为-78℃，八氟丙烷的沸点为-37℃，六氟化硫的沸点为-63℃，而在六氟化硫生产中精馏工序所要求的高压低温状态下六氟乙烷液化的温度比六氟化硫低约6℃，而八氟丙烷液化的温度比六氟化硫高约5℃，所以大部份六氟乙烷和八氟丙烷与六氟化硫一起被留在塔釜内。

工业级六氟化硫没有要求六氟乙烷和八氟丙烷的指标，但电子级六氟化硫技术要求中有一项内容，参照GB/T 18867-2002，其表1中明确规定了：其他杂质（CO₂、C₂F₆、C₃F₈、SO₂F₂、S₂OF₂、S₂OF₁₀）的体积分数/10^-6必须≤15.0，而工业级六氟化硫生产中仅六氟乙烷和八氟丙烷就已达到300-400。所以要生产电子级六氟化硫，必须进行装置和工艺改进。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置及精馏工艺。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案一为：

一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，包括预冷器、第一精馏塔、第一冷凝器、第二精馏塔和第二冷凝器；

所述预冷器的进口端用于接入加压后的六氟化硫粗制气体，所述预冷器的出口端通过第一管路与第一精馏塔的中部相连通；

所述第一精馏塔的顶部通过第二管路与第一冷凝器的进口端相连通；

所述第一冷凝器的出口端连接有第三管路和第四管路，所述第一冷凝器的出口端通过第三管路与第一精馏塔的中部相连通，第一精馏塔、第二管路、第一冷凝器和第三管路之间形成第一回流通路，所述第一冷凝器的出口端通过第四管路与第二精馏塔的中部相连通；

所述第二精馏塔的顶部通过第五管路与第二冷凝器的进口端相连通；

所述第二冷凝器的出口端连接有第六管路和第七管路，所述第二冷凝器的出口端通过第六管路与第二精馏塔的中部相连通，第二精馏塔、第五管路、第二冷凝器和第六管路之间形成第二回流通路，所述第二冷凝器的出口端通过第七管路排出尾气。

其中，所述第三管路和第四管路通过一总管与第一冷凝器的出口端相连接，所述第三管路、第四管路和总管的连接处设置有用于控制第一回流通路的回流比的分流装置。

其中，所述分流装置为三通阀。

其中，还包括模压机，所述模压机与预冷器的进口端相连通。

其中，还包括捕集器，所述捕集器通过第七管路与第二冷凝器的出口端相连通。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案二为：

一种用于电子级六氟化硫生产的精馏工艺，包括以下步骤：

步骤1、将六氟化硫粗制气体经膜压机加压后进入预冷器，在高压及低温状态下由气态转化为液态，之后从第一精馏塔的中部进入第一精馏塔的塔釜，在第一精馏塔的塔釜内，液态六氟化硫和小部分沸点比六氟化硫高的高沸物吸热后气化，气化后的六氟化硫和小部分高沸物沿塔上升，进入第一冷凝器，然后六氟化硫和小部分高沸物冷凝成液态，此时处于全回流状态，液态的六氟化硫和小部分高沸物全部回流至第一精馏塔，与再次气化的六氟化硫粗制气体和高沸物进行热交换，此时高沸物冷凝成液态，而大部分六氟化硫依然为气态,继续上升至第一冷凝器后六氟化硫冷凝成液态，此时通过控制回流比，让少部分的液态六氟化硫回流至第一精馏塔，进行热量交换，而大部分液态的六氟化硫进入第二精馏塔；