[发明专利]一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置及精馏工艺

权利要求书

1.一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，其特征在于：包括预冷器、第一精馏塔、第一冷凝器、第二精馏塔和第二冷凝器；

所述预冷器的进口端用于接入加压后的六氟化硫粗制气体，所述预冷器的出口端通过第一管路与第一精馏塔的中部相连通；

所述第一精馏塔的顶部通过第二管路与第一冷凝器的进口端相连通；

所述第一冷凝器的出口端连接有第三管路和第四管路，所述第一冷凝器的出口端通过第三管路与第一精馏塔的中部相连通，第一精馏塔、第二管路、第一冷凝器和第三管路之间形成第一回流通路，所述第一冷凝器的出口端通过第四管路与第二精馏塔的中部相连通；

所述第二精馏塔的顶部通过第五管路与第二冷凝器的进口端相连通；

所述第二冷凝器的出口端连接有第六管路和第七管路，所述第二冷凝器的出口端通过第六管路与第二精馏塔的中部相连通，第二精馏塔、第五管路、第二冷凝器和第六管路之间形成第二回流通路，所述第二冷凝器的出口端通过第七管路排出尾气。

2.根据权利要求1所述的用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，其特征在于：所述第三管路和第四管路通过一总管与第一冷凝器的出口端相连接，所述第三管路、第四管路和总管的连接处设置有用于控制第一回流通路的回流比的分流装置。

3.根据权利要求2所述的用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，其特征在于：所述分流装置为三通阀。

4.根据权利要求1所述的用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，其特征在于：还包括模压机，所述模压机与预冷器的进口端相连通。

5.根据权利要求1所述的用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，其特征在于：还包括捕集器，所述捕集器通过第七管路与第二冷凝器的出口端相连通。

6.一种用于电子级六氟化硫生产的精馏工艺，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将六氟化硫粗制气体经膜压机加压后进入预冷器，在高压及低温状态下由气态转化为液态，之后从第一精馏塔的中部进入第一精馏塔的塔釜，在第一精馏塔的塔釜内，液态六氟化硫和小部分沸点比六氟化硫高的高沸物吸热后气化，气化后的六氟化硫和小部分高沸物沿塔上升，进入第一冷凝器，然后六氟化硫和小部分高沸物冷凝成液态，此时处于全回流状态，液态的六氟化硫和小部分高沸物全部回流至第一精馏塔，与再次气化的六氟化硫粗制气体和高沸物进行热交换，此时高沸物冷凝成液态，而大部分六氟化硫依然为气态，继续上升至第一冷凝器后六氟化硫冷凝成液态，此时通过控制回流比，让少部分的液态六氟化硫回流至第一精馏塔，进行热量交换，而大部分液态的六氟化硫进入第二精馏塔；

步骤2、在第二精馏塔的塔釜内，液态六氟化硫和沸点比六氟化硫低的低沸物吸热后气化，气化后的六氟化硫和低沸物沿塔上升，进入第二冷凝器，与在第二冷凝器冷凝成液态回流至第二精馏塔的液态六氟化硫进行热量交换，大部分的六氟化硫气体冷凝成液态，返回第二精馏塔的塔釜，而低沸物则从第二冷凝器逸出，进入捕集器；

步骤3、当第二精馏塔的塔釜物料液位达到规定值后，对第二精馏塔的塔釜物料进行取样分析，若物料指标满足电子级六氟化硫指标要求，则将物料压入储液器内。