[发明专利]一种电学阵列检测设备

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种电学阵列检测设备。

背景技术

在阵列基板生产的过程中，需要通过电学阵列检测设备对阵列基板进行检测，测试时，如图1所示，图1为现有技术中电学阵列检测设备的结构示意图，将待测基板放在电学阵列检测设备中的机台01的可升降台012上，通过气缸吹氮气驱动机台01的可升降台012升起来，并与探针框架02中的探针接触，测试原理是将探针框架02上的信号通过探针导入待测基板。

测试每种尺寸的阵列基板都有相对应的探针框架02，测试前需进行探针框架02的更换，更换后需要对探针框架02与机台01的固定台011之间的间隙进行调整，因为探针框架02与01的固定台011之间的间隙若太大，会导致机台01的可升降台012升起固定距离后，阵列基板无法与探针框架02上的探针接触，信号便没办法正常加入；间隙若太小会导致机台01的可升降台012升起后，阵列基板与探针框架02上的探针发生挤压，导致阵列基板碎角的发生。现有技术中的调试方法为增加或减少机台的固定台011上的铁板垫片03，以调整机台01的固定台011与探针框架02之间的间隙。

但是，现有技术中的这种调试方法比较困难，调试时需要一次次通过尺子测量间隙的大小，然后不断的去调节间隙大小直至合适为止，且间隙大小的精确度无法用肉眼去目测，调试非常费时间，导致抽真空时间严重加长，影响测试的准确性。

发明内容

本发明提供了一电学阵列检测设备，可以自动调整探针框架与机台的固定台之间的间隙，具有较高的工作效率。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种电学阵列检测设备，包括：

机台，所述机台包括：支撑待测基板的可升降台和固定台，所述固定台位于所述可升降台的上方，所述升降台可带动所述待测基板向所述固定台移动一定距离；

位于所述机台上方、用于固定探针框架的安装架，所述安装架与所述机台相对设置、且所述安装架可沿所述机台的可升降台的升降方向移动；

至少一个设置于所述机台的固定台和所述探针框架之间、用于支撑所述探针框架和调节所述固定台与所述探针框架之间距离的伸缩机构。

本发明提供的电学阵列检测设备，通过在固定台和探针框架之间设置伸缩机构，使得每次更换探针框架后，调整探针框架和固定台之间的间隙变的自动化些，减少了调整的时间，提高了电学阵列检测设备的工作效率。

在一些可选的实施方式中，所述伸缩机构为四个，每一个所述伸缩机构包括：固定于所述固定台的驱动装置、与所述驱动装置相对固定的缸筒、第一活塞杆和第二活塞杆，所述第二活塞杆与所述驱动装置传动连接，所述第一活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵。当探针框架与固定台之间的距离较小时，驱动装置将驱动第二活塞杆向上运动，由于第一活塞杆和第二活塞杆之间的液压油处于密封状态，因此当第二活塞杆向上运动时，将挤压液压油，进而液压油将推动第一活塞杆向上运动，第一活塞杆将推动探针框架向上运动，进而增大探针框架与固定台之间的距离达到需要的距离，反之，当探针框架与固定台之间的距离较大时，驱动装置将驱动第二活塞杆向下运动，液压油将向下运动，进而第一活塞杆在重力的作用下将向下运动，探针框架也会随着第一活塞杆的运动而下移，进而减小探针框架与固定台之间的距离达到需要的距离。

在一些可选的实施方式中，所述缸筒具有与所述第一活塞杆的活塞滑动密封的第一滑动腔，和与所述第二活塞杆的活塞滑动密封的第二滑动腔，所述第一滑动腔的直径大于所述第二滑动腔的直径。由于第一滑动腔和第二滑动腔的直径不同，这样第一活塞杆和第二活塞杆的行程也不同，即第一活塞杆移动的距离小于第二活塞杆的移动距离，这样可以增大探针框架与固定台之间的调整精度。

在一些可选的实施方式中，所述驱动装置为液压马达。

在一些可选的实施方式中，所述第一活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述第一活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。

在一些可选的实施方式中，所述伸缩机构为四个驱动油缸，所述驱动油缸的活塞杆自其缸筒的一端伸出，且所述活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵，所述驱动油缸的缸筒的另一端与所述固定台固定连接。这种结构的液压油缸，可以通过液压油的进出控制活塞杆的伸出和缩回。

在一些可选的实施方式中，所述活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。