[发明专利]一种电学阵列检测设备

权利要求书

1.一种电学阵列检测设备，其特征在于，包括：

机台，所述机台包括：支撑待测基板的可升降台和固定台，所述固定台位于所述可升降台的上方，所述升降台可带动所述待测基板向所述固定台移动一定距离；

位于所述机台上方、用于固定探针框架的安装架，所述安装架与所述机台相对设置、且所述安装架可沿所述机台的可升降台的升降方向移动；

至少一个设置于所述机台的固定台和所述探针框架之间、用于支撑所述探针框架和调节所述固定台与所述探针框架之间距离的伸缩机构。

2.根据权利要求1所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述伸缩机构为四个，每一个所述伸缩机构包括：固定于所述固定台的驱动装置、与所述驱动装置相对固定的缸筒、第一活塞杆和第二活塞杆，所述第二活塞杆与所述驱动装置传动连接，所述第一活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵。

3.根据权利要求2所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述缸筒具有与所述第一活塞杆的活塞滑动密封的第一滑动腔和与所述第二活塞杆的活塞滑动密封的第二滑动腔，所述第一滑动腔的直径大于所述第二滑动腔的直径。

4.根据权利要求3所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述驱动装置为液压马达。

5.根据权利要求3所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述第一活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述第一活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。

6.根据权利要求1所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述伸缩机构为四个驱动油缸，所述驱动油缸的活塞杆自其缸筒的一端伸出，且所述活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵，所述驱动油缸的缸筒的另一端与所述固定台固定连接。

7.根据权利要求6所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。

8.根据权利要求1～7任一项所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述可升降台朝向所述探针框架的一面设有与所述待测基板的四个角一一对应的压力传感器，当所述压力传感器感应到压力时，所述压力传感器的指示灯发光；当所述压力传感器未感应到压力时，所述压力传感器的指示灯熄灭。