[发明专利]一种柔性精密电阻器及其制备方法

说明书

技术领域：

本发明涉及电子元器件技术领域，具体地说是涉及一种柔性精密电阻器及其制备方法。

背景技术：

现有的精密贴片电阻大多采用片式电阻的生产工艺，在陶瓷基底上沉积合金电阻材料层，形成电极及保护层，其利用陶瓷与合金相结合组成高精密度、低温漂系数的片式电阻器。中国专利CN201576518U、CN101872667A等即公开了几种贴片电阻及其制造方法，这些片式电阻不具备柔性特征。

可查见的柔性电阻是基于柔性的绝缘膜上涂覆、印刷、沉积合金电阻层，如中国专利CN2777716Y公开了一种粘贴式柔性电阻，其是通过印刷方法在绝缘的薄膜上印刷高阻薄膜层，在高阻薄膜层一端或两端印刷上导电膜，使高阻薄膜与导电膜相连，并且在绝缘薄膜反面涂敷或者贴上不干胶从而形成可粘贴的柔性电阻，但是该粘贴式柔性电阻无法达到高精密性、低温度系数的效应。

现有的柔性电阻主要是将金属电阻体制作在柔性/可延性塑料或薄金属基板上，在具备柔性的同时却少能同时兼备电阻的高精密性及低温漂系数等高性能特性。精密电阻被广泛应用于各种电子产品之中，随着柔性电子技术的发展，市场对具备柔性精密电阻的需求日益增长，因此，研制具有高精密度及低温漂系数的柔性精密电阻也成为迫切需要。

发明内容：

本发明的目的在于针对现有技术存在的不足之处，提供一种柔性精密电阻器及其制备方法，该柔型精密电阻器具有柔韧性良好、高精度以及低温漂系数的优点，适用于打线连接的集成电路产品。

为实现上述目的，本发明的柔性精密电阻器的制备方法包括有如下步骤：

（1）、首先在衬底表面沉积一层牺牲层；

（2）、将可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶旋涂至牺牲层表面；

（3）、高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成第一陶瓷纤维层；

（4）、在陶瓷纤维层表面采用物理气相或化学气相沉积金属或合金成分的电阻薄膜层；

（5）、再次将可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶旋涂至电阻薄膜层表面；

（6）、高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成第二陶瓷纤维层；

（7）、在第二陶瓷纤维层表面沉积保护层；

（8）、旋涂光刻胶并且光刻、干法刻蚀将电阻图形化，之后去除残留光刻胶；

（9）、沉积钝化保护层；

（10）、旋涂光刻胶并且光刻、干法刻蚀形成电极与电阻薄膜层的连接孔，之后去除残留光刻胶；

（11）、在钝化保护层表面以及连接孔内部通过物理气相或化学气相沉积导电材料于连接孔至电阻薄膜层，形成电极及电极连接部；

（12）、去除衬底牺牲层。

作为上述技术方案的优选，所述的牺牲层材料可以为锗，或者是其它可以通过后续工艺加以去除的材料。

作为上述技术方案的优选，步骤（2）和步骤（5）中所述的可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶可为沉积氧化铝的铝氧凝胶可织性溶胶，也可以是可形成其它陶瓷纤维膜的凝胶。

作为上述技术方案的优选，所述的铝氧凝胶可织性溶胶可采用如下比例、方法配置：将六水合氯化铝3g、正硅酸四乙酯0.26ml、异丙醇铝4.6g、无水乙醇8ml、冰醋酸0.8ml、盐酸2ml、聚乙烯吡咯烷酮0.2g加去离子水搅拌至透明即可得到铝氧凝胶可织性溶胶。

作为上述技术方案的优选，步骤（3）和步骤（6）中所述的高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成氧化铝陶瓷纤维层，也可以是可形成其它成分的陶瓷纤维；采用的高温煅烧方法如下：先以2℃/min升温到600℃，保温120min，再以5℃/min升温到800℃，恒温120min，可得到γ-Al₂O₃纤维，然后直接将其放入1400℃高温炉煅烧120min，可获得α-Al₂O₃氧化铝陶瓷纤维。

作为上述技术方案的优选，步骤（4）中所述的电阻薄膜层可以是采用物理气相沉积成分比例为50：50的CrNi合金，也可以是其它可提供高精度、低温漂系数的金属、合金材料。

作为上述技术方案的优选，步骤（7）中所述的保护层可以为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，也可以是其它无机、有机化合物薄膜层。

作为上述技术方案的优选，步骤（9）中所述的钝化保护层可以为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，也可以是其它无机、有机化合物薄膜层。