[发明专利]一种柔性精密电阻器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于包括有如下步骤：

（1）、首先在衬底表面沉积一层牺牲层；

（2）、将可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶旋涂至牺牲层表面；

（3）、高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成第一陶瓷纤维层；

（4）、在陶瓷纤维层表面沉积金属或合金成分的电阻薄膜层；

（5）、再次将可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶旋涂至电阻薄膜层表面；

（6）、高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成第二陶瓷纤维层；

（7）、在第二陶瓷纤维层表面沉积保护层；

（8）、旋涂光刻胶并且光刻、干法刻蚀将电阻图形化，之后去除残留光刻胶；

（9）、沉积钝化保护层；

（10）、旋涂光刻胶并且光刻、干法刻蚀形成电极与电阻薄膜层的连接孔，之后去除残留光刻胶；

（11）、在钝化保护层表面以及连接孔内部通过沉积导电材料于连接孔至电阻薄膜层，形成电极及电极连接部；

（12）、去除衬底牺牲层。

2.根据权利要求1所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：所述的牺牲层材料可以为锗，或者是其它可以通过后续工艺加以去除的材料。

3.根据权利要求1所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：步骤（2）和步骤（5）中所述的可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶可为沉积氧化铝的铝氧凝胶可织性溶胶，也可以是可形成其它陶瓷纤维膜的凝胶。

4.根据权利要求3所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：所述的铝氧凝胶可织性溶胶可采用如下比例、方法配置：将六水合氯化铝3g、正硅酸四乙酯0.26ml、异丙醇铝4.6g、无水乙醇8ml、冰醋酸0.8ml、盐酸2ml、聚乙烯吡咯烷酮0.2g加去离子水搅拌至透明即可得到铝氧凝胶可织性溶胶。

5.根据权利要求3所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：步骤（3）和步骤（6）中所述的高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成氧化铝陶瓷纤维层，也可以是可形成其它成分的陶瓷纤维；采用的高温煅烧方法如下：先以2℃/min升温到600℃，保温120min，再以5℃/min升温到800℃，恒温120min，可得到γ-Al₂O₃纤维，然后直接将其放入1400℃高温炉煅烧120min，可获得α-Al₂O₃氧化铝陶瓷纤维。

6.根据权利要求1所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：步骤（4）中所述的电阻薄膜层可以是采用物理气相沉积成分比例为50：50的CrNi合金，也可以是其它可提供高精度、低温漂系数的金属、合金材料。

7.根据权利要求1所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：步骤（7）中所述的保护层可以为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，也可以是其它无机、有机化合物薄膜层。

8.根据权利要求1所述的柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于：步骤（9）中所述的钝化保护层可以为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，也可以是其它无机、有机化合物薄膜层。

9.由权利要求1所述的制备方法得到的柔性精密电阻器，包括有电阻体和电极，其特征在于：所述的电阻体从下至上由第一陶瓷纤维层、电阻薄膜层、第二陶瓷纤维层以及保护层构成，电阻体外部包覆有钝化保护层；电极的电极连接部穿过钝化保护层、保护层以及第二陶瓷纤维层与电阻薄膜层相连。

10.根据权利要求9所述的一种柔性精密电阻器，其特征在于：所述的第一陶瓷纤维层和第二陶瓷纤维层为柔韧性良好的陶瓷纤维层；电阻薄膜层为可提供高精度、低温漂系数的金属、合金材料层；保护层以及钝化保护层为可以提供钝化保护的无机、有机化合物薄膜层。