[发明专利]系统自动预检方法以及可自动预检的系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，特别是涉及一种系统自动预检方法以及可自动预检的系统。

背景技术

半导体制造业是一个高科技行业，也是一个高投资的行业。半导体制造工厂(Fab)为了实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。为了提高Fab的自动化程度，目前，很多Fab引入制造执行系统(MES)，以控制和跟踪不同批次(lot)的工序。MES会跟踪Fab中资料的状态(例如，工具、存储设备、运输设备等的状态)，每当对lot完成一处理步骤(如光刻工艺、刻蚀工艺、线宽量测、膜厚量测等)时，将lot的状态通知MES，并且MES根据通常的Fab特有的一组操作规定确定lot的下一步工序。

但是，在现有技术中，MES的报警系统不够完善，当工程师对MES中某一lot的属性修改出现错误时，MES无法检测该错误，从而存在潜在危害。以MESSign Off(传签系统)为例，MES Sign Off主要用于建立工序，例如，lot需要经过的工艺工序(Process)、量测工序(Edc)以及机台(Equipment)等。当工程师提出不正确的Process、Edc、Equipment的属性变动请求(例如，属性的新建或修改)时，MES Sign Off无法给出预警，从而使得变动的工序具有潜在问题，可能会影响到线上的产品

因此，如何提供一种系统自动预检方法以及可自动预检的系统，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，已成为本领域技术人员需要解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种系统自动预检方法以及可自动预检的系统，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，降低风险。

为解决上述技术问题，本发明提供一种系统自动预检方法，包括：

根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；

提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据；

将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。

进一步的，在所述系统自动预检方法中，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对的步骤包括：

根据所述需变动的属性数据的种类，与同一种类的所述历史的属性数据进行比对。

进一步的，在所述系统自动预检方法中，每一种类的属性数据均包括若干子属性，根据所述需变动的属性数据的种类，与同一种类的所述历史的属性数据进行比对的步骤包括：

将所述需变动的属性数据的子属性与所述历史的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述历史的属性数据；

其中，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述历史的属性数据中不同的内容。

进一步的，在所述系统自动预检方法中，所述系统自动预检方法还包括：检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，发出警报。

进一步的，在所述系统自动预检方法中，所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。

根据本发明的另一面，本发明还提供一种可自动预检的系统，包括：

数据库模块，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；

接收模块，用于接收属性变动请求，并输出属性变动请求信息，所述属性变动请求信息包含需变动的属性数据；

分析模块，分别与所述接收模块和数据库模块相连，所述分析模块接收所述属性变动请求信息，并将所述需变动的属性数据与所述数据库中的属性数据进行比对，并发出判断信息。

进一步的，在所述可自动预检的系统中，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，所述分析模块根据所述需变动的属性数据的种类，与所述数据库中的同一种类的属性数据进行比对。

进一步的，在所述可自动预检的系统中，每一种类的属性数据均包括若干子属性，所述分析模块将所述需变动的属性数据的子属性与所述数据库中的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述数据库中的属性数据，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述数据库中的属性数据中不同的内容。

进一步的，在所述可自动预检的系统中，所述系统还包括一检索模块，所述数据库模块还记录所述数据库中属性数据的变化，所述检索模块与所述数据库模块相连，所述检索模块检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，所述系统发出警报。