[发明专利]系统自动预检方法以及可自动预检的系统在审

专利信息
申请号: 201310661864.3 申请日: 2013-12-09
公开(公告)号: CN104699020A 公开(公告)日: 2015-06-10
发明(设计)人: 陈萍;许亮 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 系统 自动 预检 方法 以及
【权利要求书】:

1.一种系统自动预检方法,包括:

根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库;

提出属性变动请求,所述属性变动请求包含需变动的属性数据;

将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对,并发出判断信息。

2.如权利要求1所述的系统自动预检方法,其特征在于,所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类,将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对的步骤包括:

根据所述需变动的属性数据的种类,与同一种类的所述历史的属性数据进行比对。

3.如权利要求2所述的系统自动预检方法,其特征在于,每一种类的属性数据均包括若干子属性,根据所述需变动的属性数据的种类,与同一种类的所述历史的属性数据进行比对的步骤包括:

将所述需变动的属性数据的子属性与所述历史的属性数据的子属性依次进行比对,找出与所述需变动的属性数据最相关的所述历史的属性数据;

其中,所述判断信息包括:所述需变动的属性数据与最相关的所述历史的属性数据中不同的内容。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的系统自动预检方法,其特征在于,所述系统自动预检方法还包括:检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数,当所述变化次数超出一预设次数后,发出警报。

5.如权利要求1所述的系统自动预检方法,其特征在于,所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。

6.一种可自动预检的系统,包括:

数据库模块,根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库;

接收模块,用于接收属性变动请求,并输出属性变动请求信息,所述属性变动请求信息包含需变动的属性数据;

分析模块,分别与所述接收模块和数据库模块相连,所述分析模块接收所述属性变动请求信息,并将所述需变动的属性数据与所述数据库中的属性数据进行比对,并发出判断信息。

7.如权利要求6所述的可自动预检的系统,其特征在于,所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类,所述分析模块根据所述需变动的属性数据的种类,与所述数据库中的同一种类的属性数据进行比对。

8.如权利要求7所述的可自动预检的系统,其特征在于,每一种类的属性数据均包括若干子属性,所述分析模块将所述需变动的属性数据的子属性与所述数据库中的属性数据的子属性依次进行比对,找出与所述需变动的属性数据最相关的所述数据库中的属性数据,所述判断信息包括:所述需变动的属性数据与最相关的所述数据库中的属性数据中不同的内容。

9.如权利要求6-8中任意一项所述的可自动预检的系统,其特征在于,所述系统还包括一检索模块,所述数据库模块还记录所述数据库中属性数据的变化,所述检索模块与所述数据库模块相连,所述检索模块检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数,当所述变化次数超出一预设次数后,所述系统发出警报。

10.如权利要求6所述的可自动预检的系统,其特征在于,所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。

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