[发明专利]减压装置以及真空干燥装置

说明书

技术领域

本发明属于清洗设备技术领域，关于使用真空泵对密闭容器进行减压的一种减压装置，特别涉及从密闭容器内排出的气体当中，有一部分气体在到达真空泵之前有被液化的可能性，在这种情况下所使用的减压装置。这样的减压装置，也可应用于附带液体的被干燥物在干燥时所用的真空干燥装置，或是应用于除去溶解于液体中的气体所用的脱气装置。

背景技术

以往的清洗设备都是使用清洗液对部件进行清洗并进行真空干燥的装置。例如，在以往真空干燥装置技中，工件的清洗和真空干燥都在同一个处理槽（清洗槽）内进行处理。在这个装置中，有可以存积清洗液的储液槽（蒸汽发生槽），储液槽中有对清洗液进行加热处理的加热器；有和储液槽相连接，内部用于放置工件的处理槽（清洗槽）；有连接处理槽的真空泵等单元。在这个装置中，首先，储液槽内的清洗液被加热器加热后产生清洗液蒸汽，该蒸汽被送往处理槽内。在处理槽中，工件的表面全部被清洗液蒸汽所包围。此时，工件表面蒸汽的一部分被液化后变为液体，该液体对工件进行清洗（蒸汽清洗）。蒸汽清洗结束后，蒸汽停止输送，用真空泵对处理槽进行减压。根据减压作用，工件表面附着的液体清洗液被气化，工件完成干燥。

在上述真空干燥装置中，从被干燥物中气化后脱离的成分，到达真空泵之前怎样防止被液化是极为重要的事情。如果，在到达真空泵之前一旦发生液化，真空泵内部的转动单元（转子，转片等）会被液体附着，使真空泵的能力降低，并且会对转动单元造成过度负荷，甚至造成真空泵密封段或气缸的破损。

为解决该问题，在上述真空干燥装置中，处理槽和连接真空泵管道的地方设置加热器，从处理槽中被吸引过来的气体由加热器加热，可以防止气体被液化的可能性。但是，当真空干燥装置启动后，短时间内大量气体被吸引时，无法完全阻止该气体被液化，并且在随后液体有流入到真空泵的危险性

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种减压装置，该减压装置可以克服从密封容器内排出的气体被液化的问题，进而防止真空泵性能低下，预防真空泵发生故障。

为解决上述技术问题，本发明采用如下的技术方案：

一种减压装置，包括密封槽以及通过排气管路与所述密封槽连接的真空泵，所述排气管路设置外气吸入部，所述外气吸入部将流量小于真空泵的吸引流量的外部空气导入至所述排气管路中。

在本发明中，当真空泵通过排气管路对密封槽进行减压的时候，从外部气体导入口将外部气体导入至排气管路中，可以防止在排气管路中的从密封槽排出的气体被液化成液体，并且可以防止该液体到达真空泵。而且，在本发明中，由于同时开始对密封槽进行减压和导入外部气体，因此并不是被排出的气体被液化后进行液体排出，而是从最初开始就防止液化现象的发生。

在外部气体中，最典型的是大气，也就是说对减压装置周围存在的空气进行利用。这种场合当然不会发生由于消耗外部气体而增加新的成本。而且，例如为了防止水蒸汽的液化，干燥的瓦斯气体由瓦斯罐等提供以外，也可以使用大气以外的外部气体。

在上述排气管路中，不仅仅是只有连接密封槽和真空泵之间的管路，也包含真空泵内部的吸入口和旋转部（产生真空的转子，隔膜等）之间的气体管道。

本发明中的减压装置，当真空泵开始对密封槽内开始进行减压，到所规定时间为止的经过时间内，或是该密封槽内达到所设定压力为止时的减压过程中（以下，该过程被称之为「外部气体流入期间」），为了使外部气体能够从气体导入口流向排气管路内，可以设置一个对外部气体导入控制的控制部。

在上述的排气处理中，当减压开始后，在外部气体导入期间内，由于真空泵的排气能力低下，到达密封槽内的目标压力值（目标真空度）的时间将会变长。但是，当减压开始后，由于真空泵本身需要吸入大量的排出气体，此时无法立即提高密封槽内的真空度。但是正是由于导入了外部气体，才可以防止液体流入真空泵，并且预防真空泵性能下降，最终可以防止真空泵的出现故障。之后，密封槽内的排气进行，当真空度达到一定高度时，由于在排出的气体中，有发生液化可能性成分的排出量大量减少，即使停止对外部气体的导入，也不会发生液化。此时，在外部气体导入的过程中，根据控制部对外部气体导入的停止，不会发生液化问题，并且能够达到目标压力值，也就是说可以缩短到达目标压力值的时间。

前面描述的设定时间或是设定压力值，可以根据准备试验进行适宜的设定。例如：对外部气体导入停止的时间进行变化，在适用的时间内，可以测定是否到达目标压力值。