[发明专利]减压装置以及真空干燥装置

权利要求书

1.一种减压装置，包括密封槽以及通过排气管路与所述密封槽连接的真空泵，其特征在于：所述排气管路设置外气吸入部，所述外气吸入部将流量小于真空泵的吸引流量的外部空气导入至所述排气管路中。

2.根据权利要求1所述的减压装置，其特征在于：所述真空泵对所述密封槽从减压开始直到所定时间为止的过程中，或是所述密封槽被减压至所定压力的过程中，还包括有控制所述外部空气导入部使外部空气从所述外部空气导入口流向所述排气管路的控制部。

3.根据权利要求2所述的降压装置，其特征在于：当经过所定时间后，或是所述密封槽内的压力被减压到所述所定压力之后，由真空泵持续对所述密封槽内进行减压。

4.根据权利要求1-3任一权利要求所述的降压装置，其特征在于：所述外部空气为大气。

5.一种真空干燥装置，用于对附着液体的被干燥物进行干燥，其特征在于：包括权利要求1-4任一权利要求所述的减压装置，所述密封槽内收容有被干燥物。

6.一种清洗及真空干燥装置，其特征在于：

包括权利要求5所述的真空干燥装置，还包括用于储存清洗被干燥物的清洗液的储液槽；所述储液槽中设置有用于加热清洗液使清洗液产生清洗液蒸汽的清洗液加热部；所述密封槽和所述储液槽之间连接有将储液槽内的蒸汽导入至所述密封槽内的蒸汽输送管路。