[发明专利]一种FC封装芯片的水冷散热方案在审
申请号: | 201310637955.3 | 申请日: | 2013-12-03 |
公开(公告)号: | CN104681514A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 刘伟;程玉华 | 申请(专利权)人: | 上海北京大学微电子研究院 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;H01L23/367 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 fc 封装 芯片 水冷 散热 方案 | ||
技术领域
本发明涉及半导体器件封装技术及散热领域,具体为一种FC封装芯片的水冷散热方案。
背景技术
当今世界芯片科技飞速发展,芯片性能日新月异,体积越来越小,同时芯片封装中散热问题成为制约芯片性能提升的重要因素。
Flip Chip在当今芯片封装中具有重要地位,Flip-Chip封装技术与传统的引线键合工艺相比具有许多明显的优点,包括,优越的电学及热学性能,高I/O引脚数,封装尺寸减小等。
为了向更高性能迈进,芯片封装已经大规模采用FC封装方法,更短的触点连接带来了更小的寄生电容,同时带来更小的封装体积。
为了改善FC封装芯片的性能,有必要提出一种更加有效的散热方式。
发明内容
本发明在FC封装结构的基础上,提出一种水冷散热解决方案,其目的是要在FC封装良好散热性能的基础上,让芯片散热效果更为出色,从而为芯片性能提升带来更好的保证。
一种改善Flip Chip封装散热的液冷散热方式,包括管道和毛细管道(可以是橡胶或其他材料),金属散热鳍片,微泵。
所述毛细管道在芯片正反面均有布置。
所述散热鳍片中管道也为毛细管道。
所述各部件间均用管道连接,管道材质可为多种。
所述冷却液体一般为水,也可为其他液体。
采用本发明中的散热结构后,与现有普通FC封装结构相比具有以下优点:毛细管道中液体流速较快,与空气相比可以尽快带走热量,可以有较好的散热效率,在芯片处和散热鳍片处均是如此;双面液冷散热比空气散热效率高的多;本系统不会影响原有的通过触点散热的机制。因此本发明中的散热解决方案更适合于高性能高产热芯片的封装。
进一步地,芯片双面液冷散热要比空气散热效率高的多。
进一步地,本系统不会影响原有的通过触点散热的机制,更不会影响芯片性能与耐久度。
附图说明
图1是本发明一种FC封装芯片的液冷散热方案的原理图。
具体实施方式
为使本发明的上述特征、目的和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。由于本发明重在解释原理,因此,未按比例制图。
实施例:一种FC封装芯片的液冷散热方案。
一种FC封装芯片的液冷散热方案,参照附图1所示,包括1.管道2.芯片3. PCB4.毛细管道5.金属散热鳍片6.微泵。
上述实施例只为对本发明的内容做一个详细的说明,其目的在于让本领域的技术人员熟悉本发明的具体内容并据以实施。凡未脱离本发明的精神实质所做的任何等效变化或修饰,都应属于本发明的保护范围之内。
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